Способ определения адгезии металлической пленки к диэлектрической подложке

Способ определения адгезии металлической пленки к диэлектрической подложке

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к испытательной технике, предназначено для определения адгезии металлических пленок к диэлектрическим подложкам и позволяет повысить точность определения путем учета протяженности соединения пленок с подложкой. В пленке 2 выполняют сквозные прорези по логарифмической сходящейся или расходящейся спирали 3 с непрерывно уменьшающимся шагом, начало и конец которой переходит в окружности 4,5. Витки спирали 3 выполняют до отделения пленки 2 от подложки 1. Логарифмическая спираль 3, прсэходя по различным участкам соединения, позволяет контролировать площадь контактирования пленки 2 с подложкой 1 на значительной протяженности. В качестве параметра, характеризующего адгезию металлической пленки 2 к диэлектрической подложке 1, определяют емкость или электросопротивление участка 6 пленки 2 между окружностями 4,5. 2 ил. S (Л 2. -4 6 J -5 о:) со со

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

SU, 1310 (51) 4 С 01 N 19/04

3С

:Ц, ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

К А ВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3964826/25-28 (22) 16.10.85 (46) 15.05.87. Бюл. Ф 18 (71) Гомельский политехнический институт (72) О.И.Палий, П.Д.Петрашенко, В.Н.Каспиров и В.A.Êàðïîâ (53) 620.179.4 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ь"- 49 1878, кл . С 0 1 N 19/04, 1974.

Технология тонких пленок. Справочник под ред. Л.Майссела, Р.Гленга. М.: Советское радио, 1977,с.255, табл.1. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ АДГЕЗИИ МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ПЛЕНКИ К ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ

ПОДЛОЖКЕ (57) Изобретение относится к испытательной технике, предназначено для определения адгезии металлических пленок к диэлектрическим подложкам и позволяет повысить точность определения путем учета протяженности соединения пленок с подложкой. В пленке 2 выполняют сквозные прорези по логарифмической сходящейся или расходящейся спирали 3 с непрерывно уменьшающимся шагом, начало и конец которой переходит в окружности 4,5.

Витки спирали 3 выполняют до отделения пленки 2 от подложки 1. Логарифм мическая спираль 3, проходя по различным участкам соединения, позволяет контролировать площадь контактирования пленки 2 с подложкой 1 на значительной протяженности. В качестве параметра, характеризующего адгезию металлической пленки 2 к диэлек— трической подложке 1, определяют емкость или электросопротивление участ— ка 6 пленки 2 между окружностями 4,5.

2 ил.

310699

Составитель В.Свиридов

Редактор А.Ревин Техред M.Хопанич

Корректор С,Черни

Заказ 1883/39 Тираж 777 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r.Ужгород, ул.Проектная,4

1 1

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к способам определения адгезии металлических пленок к диэлектрическим подложкам, Цель изобретения — повышение точности определения адгезии металли— ческих пленок к диэлектрическим подложкам путем учета протяженности соединения пленки с подложкой, На чертеже изображена схема осу— ществления предлагаемого способа, Способ осуществляют следующим образом, На диэлектрическую подложку 1 наносят одним из известных способов испытуемую металлическую пленку 2.

В пленке 2 с помощью индентора выполняют сквозные прорези по логарифмической сходящейся или расходящей ся спирали 3 с непрерывно уменьшающимся шагом, начало и конец которой переходят в окружности 4 и 5.

Витки спирали 3 выполняют до отделения пленки 2 от подложки 1. При этом пленка 2 разделяется на три участка, один из которых ограничен окружностью 4 и лежит внутри ее, второй ограничен окружностью 5 и лежит за ней, а третий лежит между окружностями 4 и 5. Логарифмическая спираль 3 с непрерывно изменяющимся шагом ее витков, проходя по различным участкам соединения, позволяет контролировать площадь контактиро— вания пленки 2 с подложкой 1 значительной протяженности. При сходящей— ся спирали 3 отделение пленки 2 от подложки 1 происходит по меньшей площади, чем при расходящейся спирали 3. Подключают участок 6 пленки между окружностями 4 и 5 к измерительному электрическому мосту (не показан) и измеряют его емкость или электросопротивление, которые служат параметрами, характеризующими адгезию металлической пленки 2 и диэлектрической подложки, 1 и изменяющимися при отделении пленки 2 от подложки.

Использование емкости или электросо— противления в качестве электрического параметра повышает точность на— чала отделения пленки 2 от подложки 1.

10 Пример. На подложку из ситалла СТ 38-1 размером 60 48 1,0 мм наносят пленку никеля ионно-плазменным напылением на установке УРМ 3.279.026 и доращивают пленку до толщины порядка 10 мкм химическим осаждением. Прорези в пленке выполняют стальным индентором с радиусом 0,15 мм, Величина нагрузки на индентор составляет 350 r.

Наружный диаметр окружности составля20 ет 40 мм. Измеряют емкость участка пленки между окружностями с помощью моста переменного тока P 5010, Величина емкости составляет 84 пФ, а электросопротивления — 1,73 кОм, 25

Формула изобретения

Способ определения адгезии металлической пленки к диэлектрической

30 подложке, заключающийся в том, что в пленке выполняют сквозные прорези по спирали с непрерывно уменьшающимся шагом до отделения пленки от подложки и определяют параметр, характе35 ризующий адгезию, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью повышения точности определения, прорези наносят по логарифмической сходящейся или расходящейся спирали, начало д0 и конец которой переходят в окружности, а в качестве параметра, характеризующего адгезию, определяют емкость или электросопротивление участка пленки между окружностями.