Стекло

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к производству стекол, предназначенных для использования в микроэлектронике для герметизации микросхем, С целью снижения температуры размягчения и повышения коэффициента термического расширения и водостойкости стекло . содержит, мас.%: SiO-2. 13-18; 5,5-9,5; 6-8; PbO 60,5-64,5; ZnO 4-6; SnO2 1-2; ZrOg 1-2. Температура размягчения стекла- 430+10 С, водостойкость (потери массы) 0,05- 0,07%, коэффициент термического расширения (60±2) 10 / 1/град. 2 табл.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) А1 (511 4 С 03 С 3/074

3 руg)

Ц ф, /3 . " »oreö

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3685120/29-33 (22) 04.01.84 (46) 30.05.87. Бюл. 1(1 20 (71) Белорусский политехнический институт (72) И,К.Немкович, О.В.Невар и А,И.Зинович (53) 666.112.7(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 633831 кл. С 03 С 3/072, 1977, Заявка Японии Р 56-5350, кл. С 03 С 3/30, 1981. (54) СТЕКЛО (57) Изобретение относится к производству стекол, предназначенных для использования в микроэлектронике для герметизации микросхем. С целью снижения температуры размягчения и повышения коэффициента термического расширения и водостойкости стекло содержит, мас.%: SiO 13-18; ВдО

5, 5-9, 5; А1д 03 6-8; РЪО 60, 5-64, 5;

ЕпО 4-6; ЯпО д 1-2; ЕгО 1-2. Температура размягчения стекла 430+10 С, водостойкость (потери массы) 0,050,077, коэффициент термического расширения (60+2) 10 . 1/град. 2 табл.

13817

1 l3

Изобретение относится к производству стекол, предназначенных для использования в микроэлектронике для герметизации микросхем.

Цель изобретения — снижение температуры размягчения и повышение коэффициента термического расширения и водостойкости.

Составы стекол представлены в табл. 1.

Продолжение табл.1

5 0 5,5 4,0

ZnO

6,0

ZrO

1,0 1,0 2,0

1,0 2,0 1,0

1,5

SnO г

1,5

Таблица 1 компонентов, таве

15,5 13,0 13,0

5,5 7,5 7,5 9,5

7,0 8,0 8,0 6,0

62,5 60,5 64,5 62,5 г0э

PbO

Таблица 2

Показатель

Состав

4 Прототип

Кристаллизацнонная способность

Не кристаллизуются

Температура размягчения, С

430+10 430+10

Коэффициент термического расширения, 10 1/град

60+2

60+2

60+2

60+2

55+1

0 05

0,07 0,16-0,19

0,05

0,08 .

Полная растекаемость и хорошая адгеэия к подложке

Не расплав ляется

Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я компонентов

Стекло, включающее SiO, В 0

23 г 31

А1гОэ, Pb0, ZnO, SnO, о т л и ч а юе е с я тем, что, .с целью снижения температуры размягчения и повышения коэффициента термического расширения и водостойкости, оно дополнительно содержит ZrOä при следую13-18

5,5-9,5

6-8

60,5-64,5

4-6

1-2

1-2

Химическая устойчивость (потери массы по отношению к во де), Е

Поведение стекла на керамической подложке 22ХС после обжига при 600 С

Для варки стекол используют кварцевый песок, глинозем, борную кислоту, свинцовый сурик, оксид цинка, оксид циркония и оксид олбва.

Стекла варят при 1200+10 С в течение 0,5 ч. Стекла хорошо провариваются и осветляются и пригодны для изготовления различных изделий технического назначения методами прес20 сования и отливки, Свойства предлагаемых составов (1-3) и состава-прототипа представлены в табл. 2, 430+10 430+10 530 щем соотношении мас.7.:

S>O

BgOs

55 А1 0

Pb0

7.пО

SnO

ZrO>