Способ приготовления железомеднохлоридного травильного раствора на основе водоацетонитрильной смеси

Способ приготовления железомеднохлоридного травильного раствора на основе водоацетонитрильной смеси

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к способам приготовления травильных растворов , а именно к размерному травлению меди и ее сплавов. Цель изобретения - повьшение скорости травления меди, которая достигается увеличением стабильности раствора. Готовят концентрированный раствор хлорного железа в ацетонитриле (2,1-2,2 М/л), в расчетное количество этого раствора добавляют водоацетонитрильную смесь, затем растворяют хлорную медь, причем содержание воды в готовом растворе составляет 3,8-13,8 М/л. Хлорное железо и хлорную медь применяют в виде кристаллогидратов. Скорость травления меди в готовом травильном растворе составляет 72,8 мг/см - мин. 1 табл. i (Л С со ел ел ISD со.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (51)4 С 23 F 1 00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

3cppgy „

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ kflg g@r ау, (21) 3993457/22-02 (22) 09.10.85 (46) 07.06.87. Бюл. Ф 21 (71) Московский химико-технологический институт им. Д.И. Менделеева и

Горьковский политехнический институт им. А.А. Жданова (72) А.В. Кучеренко, А.Г. Атанасянц, Л.И. Молвина, Т.С. Ганженко, В.И.Шумилов и В.И. Кучеренко (53) 621.794.42(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

И - 9221.78, кл. С 23 F 1/00, 1982.

„„SV„„1315523 А1 (54) СПОСОБ ПРИГОТОВЛЕНИЯ ЖЕЛЕЗОМЕДНОХЛОРИДНОГО ТРАВИЛЬНОГО РАСТВОРА

НА ОСНОВЕ ВОДОАЦЕТОНИТРИЛЬНОЙ СМЕСИ (57) Изобретение относится к способам приготовления травильных растворов, а именно к размерному травлению меди и ее сплавов. Цель иэобретения— повышение скорости травления меди, которая достигается увеличением стабильности раствора. Готовят концентрированный раствор хлорного железа в ацетонитриле (2,1-2,2 М/л), в расчетное количество этого раствора добавляют водоацетонитрильную смесь, затем растворяют хлорную медь, причем содержание воды в готовом растворе сй составляет 3,8-13,8 М/л. Хлорное жеЖ лезо и хлорную медь применяют в виде кристаллогидратов. Скорость травления меди в готовом травильном раство- ( ре составляет 72,8 мг/см .мин.

1 табл.

1315523

Концентрация, M/ë

Скорость травления мг/см мин, по спо2, собу

Пример

Соотношение

112 0 водно тцетонитрильной смеси

FeC1, CuC1Z HZ 0 извест- предлагаеному мому

1 0,5 0,4 13,8 0,4:1

18,6

21,2

3,8 0:1

2 0,5 0,4

16,4

19,1

3 0,5 1,0 11,0 0,2:1

22,2

19,7

27,3

72,8

4 1,0 0,5

5 1,7 0,9

9,0 0,1. 1

13,8 0,5:1

23,5

62,9

62206

13,8 0:1

41,1

49,2

7 1,2 1,0 13,0 0,3:1

60,3

52„6

Изобретение относится к способам приготовления травильных растворов, а именно к размерному травлению меди и ее сплавов.

Целью изобретения является повышение скорости травления за счет увеличения стабильности раствора.

Пример 1, Готовят два. раствора одинакового состава, М/л:

FeC1 0,5

CuCl 0,4

Н 0 13,8

Ацетонитрил до I л

По известному способу готовят концентрированный раствор FeC13 в ацетонитриле концентрацией 3,0 М/л, затем в мерную колбу отбирают 166,7 мл этого раствора (0,5 М EeClg) вносят навеску 53,8 r CuClz (0,4 М), добавляют 248 мл воды (13,8 М) и доводят до метки ацетонитрилом.

По предлагаемому способу готовят концентрированный раствор FeC1 6HzO в ацетонитриле концентрацией 2,2 M/ë, затем в мерную колбу отбирают 227 мл

f раствора (0,5 М РеС1 ), разбавляют водоацетонитрильной смесью при соотношении Н О : AH = 0,4:1 до содержания воды 13,0 M/ë, в полученном растворе хлорного железа растворяют навеску 68y47 CuClz 2Hz0 (0,4 М СпС1 ).

До метки доводят ацетонитрилом.

После этого образец марки M I погружают в приготовленные растворы.

Травление ведут при 25 С без перемешивания. Скорость травления меди в растворе, приготовленном по предлагаемому способу, 21,2 мг/с» .мин, а по известному 18,6 мг/см мин.

В остальных примерах испытания проводят аналогично.

5 Данные опытов сведены в таблицу, Таким образом, иэ результатов таблицы видно, что предлагаемый способ приготовления травильного раствора позволяет повысить скорость травления меди в среднем на 157. Это обеспечит увеличение производительности травильных установок за счет уменьшения времени травления и повысит качество. травления.

Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я

Способ приготовления железомедноZp хлоридного травильного раствора на основе водоацетонитрильной смеси, включающий получение концентрированного раствора хлорного железа в ацетонитриле, растворение хлорной меди, 25 добавление воды и ацетонитрила, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения скорости травления за счет увеличения стабильности раствора, хлорное железо и хлорную медь

3р используют в виде кристаллогидратов, раствор хлорного железа готовят с концентрацией 2,1-2,2 М/л и доводят до необходимой концентрации водоацетонитрильной смесью и в полученном составе растворяют хлорную медь, причем содержание воды в готовом травильном растворе составляет 3,813,8 М/л.