Неразрушающий способ контроля адгезии металла к диэлектрику

Неразрушающий способ контроля адгезии металла к диэлектрику

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к способам контроля механической прочности соединений металл-диэлектрик и может быть использовано в микроэлектронике, полупроводниковой технике, кабельной промышленности и других областях. Способ позволяет упростить процесс измерения. Образец с ассиметрией, заложенной в нем либо в процессе технологии изготовления , либо в предварительно созданной анизатропии самого диэлектрика, подключают через переключатель полярности к измерителю тока. Помещают образец в условия повышенной влажности и регистрируют изменение направления тока при смене полярности включения образца, что позволяет судить об адгезии металла к диэлектрику . В условиях повышенной влажности происходит сорбция пленки на поверхности диэлектрика, при этом увеличивается ток, что повышает достоверность контроля адгезии металла к диэлектрику. 1 ил. Р 00 ГчЭ СО СО 1

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН д114 G01 N 27 46! !

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

1 4

Ю

М Ф

4h

4Р

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

К ABT0PCH0MV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4034711/24-25 (22) 07. 03. 86 (46) 15.07.87. Бюл. № 26 (71) Томский политехнический институт им. С. М. Кирова (72) С. А. Зайдман (53) 620.179.4.543.25 (088.8) (56) Зайдман С. А. Твердотельный источник тока с высоким внутренним сопротивлением. — Приборы и системы управления, 1982, № 8, с. 25.

Авторское свидетельство СССР № 491085, кл. G 01 N 19/04, опублик. 1975. (54) НЕРАЗРУШАЮЩИЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ АДГЕЗИИ МЕТАЛЛА К ДИЭЛЕКТРИКУ (57) Изобретение относится к способам контроля механической прочности соединений металл-диэлектрик и может быть исполь„„SU„„1323940 А1 зовано в микроэлектронике, полупроводниковой технике. кабельной промышленности и других областях. Способ позволяет упростить процесс измерения. Образец с ассиметрией, заложенной в нем либо в процессе технологии изготовления, либо в предварительно созда нной анизатропии самого диэлектрика, подключают через переключатель полярности к измерителю тока. Помещают образец в условия повышенной влажности и регистрируют изменение направления тока при смене полярности включения образца, что позволяет судить об адгезии металла к диэлектрику. В условиях повышенной влажности происходит сорбция пленки на поверхности диэлектрика, при этом увеличивается ток, что повышает достоверность контроля адгезии металла к диэлектрику.

1 ил.

l323940

Формула изобретения

Составитель Е. Анисимов

Редактор А. Лежнина Техред И. Верес Корректор В. Бутяга

Заказ 2959/48 Тираж 776 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к способам определения прочности и может быть использовано в кабельной технике, микроэлектронике и полупроводниковой технике.

Целью изобретения является упрощение 5 процесса измерения.

На чертеже приведена принципиальная схема устройства для осуществления предлагаемого способа.

Диэлектрик 1, на который нанесены металлические электроды 2, зажимаются между токоотводящими электродами 3, которые подсоединены к измерительному прибору 4 через переключатель 5 полярности при этом образец помещен в камеру 6 влажности.

Способ осуществляют следующим образом.

Образец с асимметрией, заложенной в технологии изготовления его или в предварительно созданной анизотропии самого диэлектрика !, помещают в камеру 6 влажности, затем подсоединяют его к регистратору тока и в замкнутой цепи образец-измерительный прибор 4 регистрируют генерируемый образцом ток. Далее производят переключение полярности образца, поворачивая его на !80 или меняя местами токоподводящие проводники 3 измерительного прибора, что также можно сделать с помощью переключателя 5, после чего регистрируют смену направления тока, что явля- 30 ется гарантией генерации тока образцом, а следовательно, доказывает наличие хорошей адгезии металла к диэлектрику.

Контроль адгезии металлических покрытий на диэлектрическом основании данным способом можно проводить только для асимметричных структур металл — диэлектрик — металл. Такие ассиметричные структуры имеются в микроэлектронике, когда на диэлектрическую подложку (ситалл, керамика, сапфир, брокерит и т. д.) наносят резистивные пленки из алюминия или тантала, из золота или никеля и т. д., а также осуществляют многослойное покрытие с разным количеством слоев металла на каждой из сторон диэлектрика, или, если имеется градиент концентрации носителей заряда, вдоль самого диэлектрика.

Неразрушающий способ контроля адгезии металла к диэлектрику, при котором на образце измеряют электрические параметры, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса измерения, образец с асимметрией проводящих слоев или с анизотропией диэлектрика помещают в камеру влажности, регистрируют ток, генерируемый образцом, производят переключение полярности образца и по смене направления генерируемого тока судят об адгезии металла с диэлектриком.