Устройство для контроля толщины стравливаемого слоя

Устройство для контроля толщины стравливаемого слоя

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины стравш - ваемого слоя детали. Цель изобретения - повьшение точности контроля и надежности работы путем бесконтактного измерения толщины. Устройство с помощью скобы t устанавливают на контролируемую деталь 13, которую помещают вертикально в травильный раствор. Пластина 6 газораспределитепя при стравливании заданного слоя направляет выделяюощйся при травлении газ через щель 7 в сосуд 3 и вытесняет из последнего раствор, что приводит к повороту пластины против часовой стрелки и подаче газа к генератору 8 звуковых колебаний, который оповещает об окончании процесса травления. 3 ил. (Л

СО(ОЭ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) А1 (51) 4 С Ol В 13 20

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ASTOPCHOMY СВИ4ЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИ4 (21) 4008469/25-28 (22) 17.01.86 (46) 30.07.87. Бюп. Р 28 (72) В.Д.Бабушкин и В.Д.Ннмаев (53) 531.717.1 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Р 847001, кл. С 01 В 7/06, 1981. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ

СТРАВЛИВАЕИОГО СЛОЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины стравливаемого слоя детали. Цель изобретения — повышение точности контроля и надежности работы путем бесконтактного измерения толщины. Устройство с помощью скобы 1 устанавливают на контролируемую деталь 13, которую помещают вертикально в травильный раствор. Пластина 6 газораспределителя при стравливании заданного слоя направляет выделяющийся прн травлении газ через щель 7 в сосуд 3 и вытесняет из последнего раствор, что приводит к повороту пластины против часовой стрелки и подаче газа к генератору 8 звуковых колебаний, который оповещает об окончании процесса травления. 3 ил.

1326883

ЭО

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины стравливаемого слоя деталей при размерном химическом травлении.

Цель изобретения — повышение точности и надежности контроля путем бесконтактного измерения толщины.

На фиг. I изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 вид А на фиг. 1; на фиг. 3 — устроиство в момент подачи звукового сигнала, общий вид.

Устройство содержит скобу 1 с прижимами 2, газособирающий сосуд 3, эксцентрично закрепленный на скобе 1 с помощью вала 4, микрометрический винт 5, установленный,в скобе 1, газораспределитель, подвижный элемент которого выполнен в виде пластины 6, скрепленной с газособирающим сосудом 3 и образующей щель 7 с боковыми стенками сосуда для входа газа в сосуд 3 и выхода из него, и датчик снятого слоя, выполненный в виде генератора 8 звуковых колебаний, сообщенного с раструбом 9.

Иикрометрический винт 5 расположен над газособирающим сосудом 3 и в исходном состоянии упирается в верхнюю часть пластины 6, Раструб 9 размещен в исходном состоянии над газособирающим сосудом 3 и закреплен с помощью кройштейна )О на скобе 1.

Скоба 1 оснащена ограничителем 11 поворота сосуда 3 на валу 4 и шкалой 12 положения микрометрического винта 5.

Все элементы устройства выполнены из нержавеющей стали.

Устройство работает следующим образом.

Сосуд 3 в исходном состоянии (благодаря эксцентричному закреплению ) стремится опуститься до упора пластины 6 в винт 5. При помощи крепежной скобы 1 устройство закрепляют на вертикально расположенную деталь 13 таким образом, чтобы щель 7 расположилась над ее торцовой поверхностью, а верхний край пластины 6 был в контакте с микрометрическим винтом 5, Затем, вращая микрометрический винт 5 по шкале 12, устанавливают необхоцимую величину снимаемого слоя детали. При вращении микрометрическоro винта находящаяся с ним в контакте пластина 6 поворачивается совместно с газособирающим сосудом 3 на валу 4,а щель 7 перемещается вдоль торца детали 13 на величину снимаемого слоя.

После этого деталь 13 с устройством для контроля толщины опускают вертикально в травильный раствор.

В процессе травления поток выделяющегося газа устремляется вверх вдоль обрабатываемой поверхности детали 13 и пластины 6, сначала минуя щель 7. По мере стравливания материала детали 13 ее. толщина уменьшается и в момент достижения заданной глубины травления щель 7 оказывается на пути движения газа, в результате чего газ быстро .заполняет сосуд 3, вытесняя из него раствор. Сосуд 3 и пластина 6 поворачиваются на валу 4 против часовой стрелки до упора пластины 6 в ограничитель 11 поворота, В этом положении внешняя поверхность пластины 6 и обрабатываемая поверхность детали образуют угол с зазором в вершине, величина которого определяется ограничителем 11, расположенным на скобе 1.

Газовый поток направляется пластиной через зазор к раструбу 9, из которего он поступает в генератор 8 звуковых колебаний, Звуковой сигнал оповещает о достижении заданной величины стравливания. Процесс травления после этого прекращают, Формула изобретения

Устройство для контроля толщины стравливаемого слоя детали, содержащее скобу с прижимами, предназначенными для крепления ее к детали, гаэособирающий сосуд, закрепленный на скобе с помощью вала, и установленные на скобе мнкрометрический винт и датчик снятого слоя, о т л и ч а ю— щ е е с я тем, что, с целью повышения точности и надежности контроля, оно снабжено гаэораспределителем, подвижный элемент которого выполнен в виде пластины, скрепленной с газособирающим сосудом и образующей щель с боковыми стенками сосуда, а датчик снятого слоя выполнен в виде генератора звуковых колебаний, располагаемого над гаэособирающим сосудом, 1326883!

326883

Составитель В,Гордеев

Техред В.Кадар Корректор Т.Колб

Редактор А.Ревин

Заказ 3269)34

Тираж 676 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/S

Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4