Способ приготовления пленкообразующего раствора

Способ приготовления пленкообразующего раствора

Реферат

Способ приготовления пленкообразующего раствора для получения поверхностного источника диффузии примеси в кремний, включающий гидролиз тетраэтоксисилана в присутствии катализатора в растворе, содержащем органический растворитель и воду, с введением нескольких легирующих примесей в виде эфиров элементов III и V групп, отличающийся тем, что, с целью увеличения срока службы раствора, эфиры элементов III и V групп предварительно смешивают друг с другом, а в раствор смесь вводят после гидролиза тетраэтоксисилана.