Интерферометрический способ контроля качества оптических поверхностей

Интерферометрический способ контроля качества оптических поверхностей

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для контроля качества оптических деталей. Цель изобретения - повышение точности контроля - достигается путем отделения от полезного сигнала в интерферограмме. Пучок 1 света поступает в призму 2 Дове, кото рая вращает пучок 1 вокруг своей оси, разделяется на два пучка с разной интенсивностью , которые сводятся в плоскости 10 регистрации интерферограммы под углом друг к другу, совмещают оси обоих пучков с центром интерферограммы, а постоянную времени регистрации выбирают больше периода вращения пучка. 1 ил. СЛ 10

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (И) (51) 4 С 01 В 9/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

М АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3825166/24-28 (22) 29. 10. 84 (46) 30.09.87. Бюл. N - 36 (72) В.А. Тартаковский, В.П. Лукин, С.И. Лелюхин, В.Л. Голубчик и Л.С. Гуревич (53) 531.717.8(088.8) (56) Wyant I.Ñ. Interfегоmetric optical metrology: Basic principles

Ehemsystems; — Laser Focus„ 1982, Иау, р. 65-71. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКИЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для контроля качества оптических деталей. Цель изобретения — повышение точности контроля — достигается путем отделения шуйа от полезного сигнала в интерферограмме. Пучок 1 света поступает в призму 2 Дове, которая вращает пучок 1 вокруг своей оси, разделяется на два пучка с разной интенсивностью, которые сводятся в плоскости 10 регистрации интерферограммы под углом друг к другу, совмещают оси обоих пучков с центром интерферограммы, а постоянную времени регистрации выбирают больше периода вращения пучка. 1 ил.

Формула и з о б р е т е н и я

Составитель А. Гордеев

Техред M.Äèäûê Корректор Г. Решетник

Редактор А. Огар

Заказ .4426/45 Тираж 676 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )K-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

1 13414

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля качества оптических поверхностей.

Цель изобретения — повышение точности контроля путем отделения шума от полезного сигнала в интерферограмме.

На чертеже изображено устройство для осуществления предлагаемого способа, Способ осуществляют следующим образом.

Входной пучок 1 света поступает в призму 2 Дове, которая вращается и вращает проходящий через нее пучок света. Далее последний расширяется эспандером 3, 4, делится на два пучка, один из которых, опорный, прохо- 2р дит эталонный объектив 5 и фокусируется на зеркале 6, повернутое на угол

9 относительно оси падающего на него пучка. Отражаясь от зеркала 6, опорный пучок вновь проходит объек- 25 тив 5 и светоделитель 7. Объектный пучок образуется делением входного пучка светоделителем 7. Этот пучок проходит компенсирующий объектив 8, отражается от контролируемого зеркаЛа 9; вновь проходит через объектив

8 и, отражаясь от светоделителя 7, . попадает в плоскость 16 регистрации и интерферирует с опорным пучком.

Выбором фокусного расстояния

35 . объектива 5 и угла 9 достигают совмещений осей вращения объектного и опорного пучков с центром интерферограммы в плоскости 10 регистрации.

Плоскость 10 регистрации сканируется блоком 11, выход которого соединен с фильтром 12. Этот фильтр подавляет зависимость от угла поворота ос неоднородностей интенсивности входного пучка и пропускает без искажения интерференционную картину, так как она не вращается.

При этом интерферограмма имеет зашумление только с круговой симметрией, которое затем удаляется путем фильтрации логарифма интерферограммы, заключающейся в вычитании в Фурьеплоскости значений спектра логарифма интерферограммы в четных квадрантах из значений спектра в квадрантах, симметричных четным относительно оси частот, и последующего обнуления значений спектра логарифма интерферограммы в четных квадрантах.

Интерферометрический способ контроля качества оптических поверхностей, заключающийся в том, что расщепляют пучок когерентного излучения на два, сводят эти два пучка вместе в одной плоскости и регистрируют в этой плоскости интерферограмму, восстанавливают из нее объектный волновой фронт, по которому судят о качестве поверхности, отличающийся тем, что; с целью повышения точности контроля, исходный пучок излучения вращают вокруг своей оси, интерферограмму регистрируют в плоскости, проходящей через точку пересечения оптических осей пучков, полученных в результате расщепления, устанавливают постоянную времени регистрации не меньше, чем период вращения исходного пучка, вычитают в Фурье-плоскости значения спектра в четных квадрантах иэ значений спектра в квадрантах, симметричных четным относительно оси частот, и обнуляют значения спектра в четных квадрантах.