Диэлектрическая паста
Иллюстрации
Показать всеРеферат
Изобретение относится к электротехнике , в частности к изготовлению интегральных микросхем, и позволяет повысить адгезию пасты к керамической подложке. Диэлектрическая паста, содержащая заданное количество керамического порошка, модифицированного 0,25-0,30 мас.% себациновой кислоты, биндера и терпинеола, позволяет повысить прочность сцепления керамических слоев в 2,5-3 раза по сравнению с известной пастой. Выход годных изделий , изготовленных с применением предлагаемой пасты, повышается в 4,5 раза. 2 табл. g (Л с со 4 sj I;D со
А1
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛ ИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК (51)4 Н 01 В 3 2
ОПИСАНИЕ ИЗОбРЕТЕНИЯ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
llO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPblTPM
Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4037132/24-07 (22) 14.03.86 (46) 23. 10.87. Бюл. Ф 39 (72) M,Н,Погожева, И.А.Жиляева, Е.И.Челноков и Е.Д.Валуев (53) 621.315 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
В 982102, кл. Н 01 В 3/12, 1982. (54) ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПАСТА (57) Изобретение относится к электротехнике, в частности к изготовлению интегральных микросхем, и позволяет
„„SU„„1347099 повысить адгезию пасты к керамичес.кой подложке. Диэлектрическая паста, содержащая заданное количество керамического порошка, модифицированного
0,25-0,30 мас.% себациновой кислоты, биндера и терпинеола, позволяет повысить прочность сцепления керамических слоев в 2,5-3 раза по сравнению с известной пастой. Выход годных изделий., изготовленных с применением предлагаемой пасты, повышается в 4,5 раза. 2 табл.
1 134709
Изобретение относится к электротехнике и может найти применение, в частности, для изготовления интегральных микросхем.
Целью изобретения является повышение адгезии пасты к керамической подложке, и улучшение качества соеди- нения керамических слоев.
Пасту готовят следующим образом, Вначале проводят модификацию керамического порошка поверхностно-активным веществом (ПАВ) себациновой кислотой. Для этого керамический порошок загружают совместно с ПАВ (себациновой кислотой) в вибромельницу или планетарную мельницу и осуществляют одновременное смешение и измельчание порошка с ПАВ до удельной поверхности 15000-18000 см /r.
Биндер готовят путем растворения порошка поливинилбутираля в смеси терпинеола и пластификатора (дибутилфталата) в течение 10-24 ч. В полученный биндер вводят модифицирован- 25 ный керамический порошок с удельной поверхностью 15000-18000 см2 /r, терпинеол, после чего производят перемешивание компонентов пасты в установке для приготовления паст в течение 30-40 мин до получения однородной массы вязкостью 30-35 мм.
Нанесение диэлектрической склеива- ющей пасты на керамические слои осуществляется методом трафаретной пе35 чати. Затем слои соединяют друг с другом и спрессовывают под давлением 20-40 Kr/ñì . Образуется многослойный монолит, из.которого форми40 руются с последующими вырубкой и выТаблица
Содержание, мас. %, в составе
1 г I г
99,75
99,25
0,75
98,70 керамический порошок себациновая кислота
Состав пасты: модифицированный керамический порошок
62,0
28;0
58,0
50,0
30,0
35 0 биндер
Компоненты композиции
Модификация керамического порошка себациновой кислотой:
9 г сокотемпературным спеканием при 1540+
+20 С корпуса интегральных схем.
В табл. 1 и 2 приведены составы композиций и свойства изделий на их основе.
При использовании. предлагаемого состава диэлектрической пасты механическая прочность сцепления керамических слоев повышается в 2,5-3 раза по сравнению с известным составом.
Выход годных по внешнему виду корпусов, изготовлЕнных с применением предлагаемой пасты, повышается в 4,5 раза по сравнению с известным составом.
Формула изобретения
Диэлектрическая паста, содержащая керамический наполнитель, биндер состава I (мас,%): терпинеол 77-85, поливинилбутираль 7-12, дибутилфталат
8-11, терпинеол, о т л и ч а ю— щ а я с я тем, что, с целью повышения адгезии пасты к керамической подложке и улучшения качества соединения керамических слоев, она содержит в качестве керамического наполнителя керамический порошок, модифицированный 0,25-0,30 мас, % себациновой кислоты при следующем содержании компонентов, мас. %:
Керамический порошок, модифицированный 0,251,30 мас.% себациновой кислоты 50-62
Биндер состава I 28-35
Терпинеол 10-15
1347099 4
Продолжение табл.1
Компоненты композиции
Содержание, мас. Ж, в составе г j з
10,0
12,0
15,0 терпинеол
Состав биндера:
12,0
9,0
7,0 поливинилбутираль дибутилфталат терпинеол
8,0
11,0
77,0
85,0
Таблица 2
Показатели по примеру известному
1 2 (60-80) +5
12+20 14-22 14"22
Удовлетворительное, паста на Неудовлетвоконтактные площадки не нате- рительное, кает наблюдаются натеки пасты
Качество соединения слоев
rp.К-1.на контактные площадки
Границы раздела слоев исчезают, образуется монолитное тело, усилие разрыва которого 780-1000 г на 10 мм длины
Соответ- Соответствует ствует
Соответ- Не соответс ствует ствует
Составитель А.Кругликов
Редактор О.Головач Техред. A.Кравчук . Корректор М.Максимишинец
Заказ 5121/47 Тираж 696 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Mockaa, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4
Основные технологические и технические параметры
Толщина наносимого слоя., мкм
Усилие разрыва соединенных слоев (Г) Испытание корпусов по
rp. К-1
9,0
82,0
370-460 (на заготовках
37,5 х 75 мм)