Стекло

Стекло

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к области технологии силикатов, к производству свинцового алюмоборосиликатного стекла , предназначенного для использования в микроэлектронике для герметизации толстопленочных элементов микросхем . Цель - повьшение адгезии к никелю. Стекло содержит,- мас.%: SiO 11,0-15,0; BiOj 5,0-10,0;, AljGj 5,0- 7,0; PbO 62,0-70,0; ZnO 4,0-6,0; ZrOj 1,0-2,0; SnO 1,0-2,0; MnO 0,1-0,5; Ре,0э 0,1-0,5; NiO 0,1-0,5. Сумма MnO + + NiO равна 0,5- 1,0 мас.%. Стекло может быть использовано в технике в качестве химически устойчивого изоляционного материала . КТР стекла (60-65) 10 1/гра,ц, . температура размягчения 420-10°С. Стекло образует стеклообразное с хорошей адгезией к никелевому проводнику покрытие. 2 табЛо а со ел ю со

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СО1.1ИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (51)4 03 С 8 24

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н A ВТОРСКОМ,К СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ЯфЯДв g, w p

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4013068/29-33 (22) 20.01,86 (46) 07 ° 11.87. Бюл. Р 41 (71) Белорусский политехнический институт (72) И.К.Немкович и Е.В.Козлова (53) 666. 112. 4 (088 ° 8) (56) Заявка Японии tt 56-5350, 1981.

Авторское свидетельство СССР

У 1313817, 1984, (54) СТЕКЛО (57) Изобретение относится к области технологии силикатов, к производству свинцового алюмоборосиликатного стекла, предназначенного для использования в микроэлектронике для гермети„„SU 1350129 А1 зации толстопленочных элементов микросхем. Цель — повышение адгезии к никелю. Стекло содержит, мас,X: SiO

l lю,0-15 ° 0» В Оз 5 еО 10 0 Alz0> 5,07 O; PbO 62,0-70 0; Zn0 4,0-6 0;

ZrO 1,0-2 0; SnOz 1,0-2,0; МпО

0,1-0,5; Fez0 0,1-0,5; Ni0 0,1-0,5, Сумма MnO + Ре О + NiO равна 0,51,0 мас.X. Стекло может быть использовано в технике в качестве химически устойчивого изоляционного материала, КТР стекла (60-65) 10 1/град, температура размягчения 420-10 С.

Стекло образует стеклообразное с хорошей адгезией к никелевому проводнику покрытие. 2 табл.

Таблица 1

Содержание компонентов, мас.7 в составе

Компоненты (з

l5 G

13,0

11,0

7,0

10,0

5,0

5,0

6,0

7,0

6,0 г03

64,3

66,0

62,0

70,0

PbO

6,0

5ьо

4„0

ZnO

1,0

1,5

2 O

1,0

Zr0

1,О

Snot

0,3

O 1

0)2

0 5

Мп0.

0,1

0,5

0,3

Ре Оз

0,1

0,5

0,3

NiO

2.МпО+Ре 0 +

+ N>0 0,9

0,7

0,5

1 13501

Изобретение относится к технологии силикатов, к производству свинцового алюмоборосиликатного стекла, предназначенного для использования в с> микроэлектронике для герметизации . элементов микросхем.

Целью изобретения является повышение адгезии к никелю.

Изобретение поясняется конкретны- )G ми составами стекол, представленными в табл.1, Характеристика составов предлагаемого и известного стекол представлена в табл,2, 15

Полученные с помощью предлагаемого стекла герметизированные толсто-пленочные элементы практически не изменяют своих электрических характеристик после длительного выдержива- 20 ния их во влажной среде (56 сут, влажность 987).

Формула изобретения

Стекло, включающее Sioг, ВгОэ, Al 0>, Pb0, ZnO, ЕтО, Sno, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения адгезии к никелю, оно дополнительно содержит Nno, Fe o» Nio при следующем соотношении компонентов, мас,X:

SiG 11-15

ВгОз 5-10

A>ã0ç 5-7

РЪО 62"70

ZnO 4-6

ZrO 1-2

SnG 1-2

NnO 0,1-0 5

Fe,0 0,1-0,5

NiO О, 1-0,5 причем сумма МпО, Рег0>, ИдО равна

0 5-1 мас.7, 1350129

Таблица 2

Свойства

Показатели для состава

ИзвестHbIH

; Температура размяг чения, С

420+10

420+10

420+10

420+10 430+10

65+1

60+ 1

63+1

60 1 60 „2

ОФ05

0,08

0,07

Ов05 Ое05 Оэ08

Кристаллизационная о способность, С

Не кристаллизуется

Стеклообразное с хорошей адгезией к никелевому проводнику покрытие

Составитель С.Белобокова

Редактор Н,Лазаренко Техред Л.Олийнык Корректор И,Эрдейи

Заказ 5225/22

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул.Проектная,4

Коэффициент теплового расширения, м 10 град

Химическая устойчивость по отношению к Н,,О,7

Поведение стекол на керамике 22ХС с никелевым покрытием после обжига при

550 С

Тираж 428 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Стеклообразное. адгезия слабая к никелю