Турбомолекулярный вакуумный насос

Турбомолекулярный вакуумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5И4 F04D 1904

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н Д BTGPCRGlVlV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 2606544/25-06 (22) 21.04.78 (46) 15.11.87. Бюл. № 42 (72) И. Ф. Шмелев и Ю. М. Тузанкин (53) 621.527.8 (088.8) (56) 1. Патент ФРГ № 2354046, кл. F 04 D 19/04, опублик. 1970.

2. Авторское свидетельство СССР № 177752, кл. F 04 D 19/04, 1964.

„„Я0„„1352097 А 1 (54) (57) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫ 11 НАСОС. содержащий корпус и размещенные в нем ротор с лопаточными дисками и установленный перед ротором лопаточный направляющий аппарат, отличаюи1ийся тем, что, с целью повышения быстроты откачки, направляющий аппарат снабжен автономным приводом встречного по отношению к ротору вращения, а его лопатки размещены зеркально относительно лопаток дисков ротора.

1352097

Составитель Г. Григорова

Редактор Е. Конча Техред И. Верес Корректор М. Демчик

Заказ 5265/29 Тираж 571 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной техникее.

Известен турбомолекулярный насос, сод,ержащий вращающийся ротор (l)

Однако в известном насосе скорость откачки ограничена.

Известен также турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и размещен11ые в нем ротор с лопаточными дисками и установленный перед ротором лопаточный направляющий аппарат 12).

Быстрота действия известного насоса находится в прямой зависимости от величины относительной скорости ротора к молекулам откачиваемого газа, причем определяющей является относительная скорость первого роторного диска. В известной конструкции увеличение скорости ротора относительно хаотически движущихся молекул откачиваемого газа достигается за счет увеличения скорости вращения ротора, т.е. путем увеличения окружной скорости роторных дисков, которая ограничена прочностными характеристиками материала ротора.

Целью изобретения является повышение быстроты откачки.

Указанная цель достигается тем, что направляющий аппарат снабжен автономным приводом встречного по отношению к ротору вращения, а его лопатки разме1цены зеркально относительно лопаток дисков ротора.

На чертеже изображен предлагаемый насос, продольный разрез.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 и размещенные в нем ротор 2 с лопаточнымн дисками 3 и установленный перед ротором лопаточный направляющий аппарат 4, снабженный автономным приводом 5 встречного по отношению к ротору 2 вращения, а его лопатки 6 размещены зеркально относительно лопаток дисков 3 ротора 2.

При пуске насоса диски 3 и направляющий аппарат 4 приводятся во вращательное движение во встречных направлениях.

При этом часть молекул откачиваемого газа, не сталкиваясь с лопатками 6, проходит к первому роторному диску 3, а часть молекул, сталкиваясь с направляющим аппаратом 4, получает приращение скорости в направлении его движения, и, следовательно, приведенный вектор скоростей молекул будет направлен в противоположном направлении вращению роторного диска 3, в результате чего относительная скорость роторного диска 3 резко увеличивается вплоть

2О до величины, равной сумме средних скоростей ротора 2 и отраженных молекул. При этом благодаря тангенциальному расположению направляющего диска молекулам газа сообщается дополнительное движение в периферийную зону ротора 2, т.е. в зону максимальных окружных скоростей, что также позволяет увеличить величину средней (расчетной) окружной скорости ротора 2 и, таким образом, увеличивается величина относительной скорости.

Увеличение относительной скорости приводит к увеличению быстроты действия насоса.