Фотоэлектрический способ для обнаружения дефектов оптических поверхностей

Фотоэлектрический способ для обнаружения дефектов оптических поверхностей

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ЛЪ 135232

Класс 42Ь. ) 2pg

СC:СО

ОпиСАние иЗОБРетениЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТфУ

А. И. Инюшин, И. И. Духопел н Ю. M. Голубовский

ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИИ СПОСОБ ДЛЯ ОБНАРУЖЕНИЯ

ДЕФЕКТОВ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЯ

Заявлено 13 января 1960 г. аа № 650476/26 в Комитет по делам ивобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене иаоГ>ретений» № 2 за 1961 t..

Известны способы и устройства для обнаружения дефектов оптических поверхностей, основан 1ые на использовании фотозффекта и iемного поля. Недостаток подобных споссбов;и устройст в состоит в том, что чувствительность у трсйства, получаемая прп малых геометрических размерах дефекта, мала.

В описываемом способе указанный недостаток устранен тем, что исследуемая поверхность сканируется оптической системой техпгого поля световым пятном, размер которого соизмерим с размером дефекта исследуемой поверхности.

На чертеже изображена схема устрой тва по описыьасмомi способу. Здесь: 1 — источник овета; 2 — кондепсор; 3 — диафрагма с и; углым отверстием; 4 — микрообъектив; 5 — зеркало; б — конден-.ор с апертурой 0,8; 7 — контролируемая поверхность; 8 — двигатель; 9, 10, 11, 12 и 13 — шестерни редуктора; 14 — винт; 15 — гайка; 15 — фотоумнонеитель.

Источник света 1 конденсором 2 проектируется в плоскость диафрагмы 3, которая находится в фокальной плоскости микрообъектива 4.

Вышедший из микрообъектива параллельный пучок света зеркалом 5 направляется на конденсор б, который лает изображение, светящегося отверстия диафрагмы 3 на контрслгируемой поверхности 7. Пучок света, зеркально отраженный от контролируемой поверхности, возвращается обратно по прежнему направлению и не.попадает на катод ротоумножителя. Свет, рассеянный дефектами контролируемой внове;и о стн 7, в пределах апертуры 17 собирается конденсором б и цаправ1ясгся на катод фотоумножителя 1б. Диаметр светящегося пятна на контролируемой поверхности равен 0,2 .и.и. Развертка лонтролируемсй поверхности осуществляечся механическим путем il0 спирали Архимеда. так как двигатель 8 ппиводит но вращение контролируемую д та ь — 2— № 135232 одновременно перемещает ее относительно неподвижной оптической части устройства. -чувствительность описываемого устройства такова, что амплитуда импульсов от царапины шириной 3 мк превышает уровень шумов фотоумножителя в 3 — 10 раз, в зависимости от микроструктуры царапины, Предмет изо бретения

Редактор Н. С. Кутафина Техред A. А. Камышиикова Корректор Г. Е. Кудрявцева

Объем 017 усл и в

1.1сиа 3 коп.

Формат бум. 70)(108 /„

Тираж 750

1АБТИ при Комитете по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 1.1еитр, М. Черкасский пер., д. 2/6

Подп. к печ. 7.111-61 г

Зак 2520

Типография ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР, Москва, гтвтповка, 14.

Фотоэлектрический способ для обнаружения дсфсктов оптических поверхностей путем измерения коэффициента отражения повсрхности, отл и ч а ю щ и Й с я тем, что, с целью повышения чувствительности, исследуемая поверхность сканируется оптической системой темного поля световым пятном Io размерам, соизмеримым с дефектами исследуемой поверхности.