Турбомолекулярный вакуумный насос и способ его сборки

Турбомолекулярный вакуумный насос и способ его сборки

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение позволяет повысить надежность насоса и технологичность его сборки. Р-азъемный кольцевой замок (КЗ) расположен, на нижнем торце стакана (С), закрепленного на нижней крышке по оси корпуса. На поверхности КЗ, обращенной к подшипниковому корпусу (ПК). размещен упругий элемент. В продольных каналах, выполненных в стенках С, с возможностью продольного перемещения и поворота размещены стержни с клиновидной верхней частью. Монтаж роторного узла осуществляют путем закрепления на валу ротора приводного электродвигателя, осевого подшипника и ПК с радиальными подпшпниками. Затем размещают в корпусе насоса с нижней крьпякой статор и роторный узел, устанавливают ПК в стакане с зазором, .закрепляют на стакане КЗ с упругим элементом, а в продольных каналах С устанавливают стержни . Жестко соединяют ПК со стаканом путем размещения клиновидной верхней части стержней в зазоре и проводят динамическую балансировку роторного узла, после чего изплекают верхние части стержней из зазора, обеспечивая упругую связь роторного узла со С. 2 с. и 3 3.п. ф-лы, 3 ил. . с (Л со 01 со 4; со

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51) 4 F 04 D 19/04 ( ( 1

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСН0МУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ с 4 1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3867262/25-06 (22) 14.03.85 (46) 15.12.87. Бюл. N- 46 (72) В.И.Гагарин и Б.В.Харламов (53) 621.527.1 (088.8) (56) Патент Франции Ф 2492475, кл. F 04 D 19/04, опублик. 1982, (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНИЙ ВАКУУМНЫЙ

НАСОС И СПОСОБ ЕГО СБОРКИ (57) Изобретение позволяет повысить надежность насоса и технологичность его сборки. Разъемный кольцевой замок (КЗ) расположен. на нижнем торце стакана (С), закрепленного на нижней крышке по оси корпуса. На поверхности

К3, обращенной к подшипниковому корпусу (ПК). размещен упругий элемент.

В продольных каналах, выполненных в стенках С, с возможностью продольно„„SU„„1359491 А1

ro перемещения и поворота размещены стержни с клиновидной верхней частью.

Монтаж роторного узла осуществляют путем закрепления на валу ротора приводного электродвигателя, осевого подшипника и ПК с радиальными подшипниками. Затем размещают в корпусе насоса с нижней крышкой статор и роторный узел, устанавливают ПК в стакане с зазором, .закрепляют на стакане К3 с упругим элементом, а в продольных каналах С устанавливают стержни. Жестко соединяют ПК со стаканом путем размещения клиновидной верхней части стержней в зазоре и проводят динамическую балансировку роторного узла, после чего извлекают верхние части стержней из за-ора, обеспечивая упругую связь роторного узла со

С. 2 с. и 3 з п. A-лы„ 3 ил..

1359491Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов и способам их сборки.

Целью изобретения является повышение надежности и технологичности.

На .фиг.1 представлен насос, продольный разрез; на фиг.2 — стакан с кольцевым замком и стержнем; на фиг.3 — кольцевой замок.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с нижней крышкой

2 и закрепленным на ней по оси корпуса 1 стаканом 3, расположенный в корпусе 1 статор 4, установленный по оси корпуса 1 на осевом и радиальных подшипниках 5, 6 и 7 и закрепленный на валу 9 ротора 8 приводной электродвигатель 10, причем радиальные подшипники- 6 и 7 расположены в полом подшипниковом корпусе 11, установленном с зазором внутри стакана 3 и контактирующем с ним при помощи упругих элементов 12 и 13.

Насос снабжен разъемным кольцевым замком 14, закрепленным на нижнем торце стакана 3, упругий элемент 12 размещен на поверхности замка 14, обращенной к подшипниковому корпусу

11, а в стенке стакана 3 выполнены продольные каналы 15, в которых с воэможностью продольного перемещения и поворота размещены стержни 16 с клиновидной верхней частью. Кроме того, насос дополнительно содержит расположенные в подшипниковом корпусе 11 пружину 17, установленную между радиальными подшипниками 6 и 7, и фитили 18, размещенные в полости и сообщенные с радиальными подшипниками 6 и 7, полость подшипникового корпуса 11 заполнена гигроскопической ватой:19, пропитанной смазывающей жикдостью, а осевой подшипник 5 выполнен магнитным.

Способ сборки турбомолекулярного вакуумного насоса реализуется следующим образом.

Первоначально осуществляется монтаж роторного узла путем закрепления на валу 9 ротора 8 приводного электродвигателя 10, осевого подшипника

5 и подшипникового корпуса 11 с радиальными подшипниками 6 и 7. Затем размещают в корпусе 1 насоса с нижней крышкой 2 статор 4, стакан 3 и роторный узел, устанавливают подшипниковый корпус 11 в стакане 3 с

35 зазором, закрепляют на стакане 3 кольцевой замок 14 с упругим элементом 12, а в продольных каналах стакана 3 устанавливают стержни 16, жестко соединяют подшипниковый корпус 11 со стаканом 3 путем размещения клиновидной верхней части стержней 16 в зазоре и проводят динамическую балансировку роторного узла, после чего извлекают верхние части стержней 16 из зазора, обеспечивая упругую связь роторного узла со стаканом 3.

Проведение динамической балансировки роторного узла непосредственно в корпусе насоса и исключение необходимости повторной сборки насоса после балансировки повышает технологичность сборки насоса, а также надежность его работы.

Формула изобретения

1. Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с нижней крышкой и закрепленным на ней по оси корпуса стаканом, расположенный в корпусе статор, установленный по оси корпуса на осевом и радиальных подшипниках ротор и закрепленный на валу ротора приводной электродвигатель, причем радиальные подшипники расположены в полом подшипниковом корпусе, установленном с зазором внутри стакана и контактирующем с ним при помощи упругих элементов, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности и техно- . логичности, насос снабжен разъемным кольцевым замком, закрепленным на нижнем торце стакана, один из упругих элементов размещен на поверхности замка, обращенной к подшипниковому корпусу, а в стенке стакана выполнены продольные каналы, в которых с возможностью продольного перемещения и ловорота размещены стержни с клиновидной верхней частью, 2. Насос по п.1, о т л и ч а ю— шийся тем, что он дополнительно содержит расположенные в подшипни-. ковом корпусе пружину, установленную между радиальными подшипниками, и фитили, размещенные в полости и сообщенные с радиальными подшипниками.

3. Насос по п,2, о т л и ч а ю — . шийся тем, что полость подшипникового корпуса заполнена гигроскопи1359491 ческой Ватой „ 1рэ..итянной смазываю щей жидкостью, 4, Насос по п.1, о т л и ч ". ю— шийся тем, что осевой подшипник выполнен магнитным.

5. Способ сборки гурбомолекуляр— ного вакуумного насося, включающий монтаж роторного узла путем закрепления на валу ротора приводного электродвигателя, осевого подшипника и подшипникового корпуса с радиальными подшипниками, динамическую балансировку роторнбго у ля, размещение в корпусе насоса с нижней крышкой статора, стакана и роторного узла и устаHовку подшипникoвого корпуса в ста- .. кане с зазором, о т л и ч я ю щ и й— с я тем, что, с целью повышения технологичности перед размещением стят-, кана в корпусе. насоса закрепляют на стакане кольцевой замок с у пругим элементом и размещают в продольных каналах стакана стержни,,до динамической балансировки роторного узла жестко соединяют подшипниковый кор— пус со стаканом путем размещения клиновидной верхней части стержней в зазоре, а после динамической балансировки производят извлечение пх из зазора.

1359491

Составитель В.Кряковкин

Редактор И.Рыбченко

Техред М.Дидык

Корректор М.Максимишинец

Заказ 6131/35 Тираж 571 Подпис ное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r.Ужгород, ул.Проектная, 4