Способ контроля герметичности изделий

Способ контроля герметичности изделий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к технике течеискания и может найти применение при высокочувствительных испытаниях изделий с применением массспектрометрического течеискателя. Целью изобретения является повышение чувствительности течеискателя в методе накопления путем отсоединения анализатора течеискателя, перед началом и во время перепуска накопленного газа от всех средств откачки, удаляющих пробный газ, и откачки его только селективным средством. С обеих сторон проверяемой оболочки изделия создают замкнутые объемы, подают пробный газ в один из объемов, осуществляют накопление в другом, перепускают накопленные газы в откачиваемый анализатор течеискателя, а о герметичности судят по изменению сигнала течеискателя. Перед началом и во время перепуска анализатор изолируют от всех средств откачки, удаляющих пробный газ, и откачивают селективным средством, а негерметичность определяют по разности значений нарастающего сигнала течеискателя , измеренных непосредственно перед перепуском и в момент установления минимального значения после перепуска и откачки всех газов, кроме пробного . 1 ил. (С (Л 00 О5 ю со оо

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН ((ISU(») 1362

А1 (51) 4 G 01 1((3/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ( сэ

1,у ( с

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4083492/25-28 (22) 22.05.86 (46) 30.12.87. Бюл. Р 48 (72) И.Г.Барышникова, Л.E.Ëåâèíà и Л.Д.Муравьева (53) 620.165.29(088.8) (56) Ланис В.А., Левина Л.F.. Техника вакуумных испытаний ° Л.: Госэнергоиздат, 1963, с. 242-244.

Электронная техника. Сер. Технология и органиэация производства, вып. 1, с. 5367, (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ

ИЗДЕЛИЙ (57) Изобретение относится к технике течеискания и может найти применение при высокочувствительных испытаниях изделий с применением массспектрометрического течеискателя.

Целью изобретения является повышение чувствительности течеискателя в методе накопления путем отсоединения анализатора течеискателя, перед началом и во время перепуска накопленного газа от всех средств откачки, удаляющих пробный гаэ, и откачки его только селективным средством. С обеих сторон проверяемой оболочки изделия создают замкнутые объемы, подают пробный газ в один из объемов, осуществляют накопление в другом, перепускают накопленные газы в откачиваемый анализатор течеискателя, а о герметичности судят по изменению сигнала течеискателя. Перед началом и во время перепуска анализатор изолируют от всех средств откачки, удаляющих пробный газ, и откачивают се" лективным средством, а негерметичность определяют по разности значений нарастающего сигнала течеискателя, измеренных непосредственно перед перепуском и в момент установления минимального значения после перепуска и откачки всех газов, кроме пробного. 1 ил.

1362987

1r

45

Изобретение относится к технике течеискания и может найти применение при высокочувствительных испытаниях изделий с применением масс-спектрометрического течеискателя.

Цель изобретения — повышение чувствительности течеискателя в методе накопления путем отсоединения анализатора течеискателя перед началом и во время перепуска накопленного газа от всех средств откачки, удаляющих пробный газ, и откачки его только селективным средством, благодаря чему весь накопленный пробный гаэ регистрируется анализатором. Кроме того, регистрацию сигналов о течи осуществляют непосредственно на изменяющемся фоновом сигнале, что позволяет исключить влияние разброса фоновых сигналов.

На чертеже показано изменение сигнала выходного прибора течеискателя в процессе измерения, Способ осуцествляют следующим образом, С обеих сторон проверяемой оболочки изделия создают замкнутые объемы, подают пробный газ в один из объемов, осуществляют накопление в другом, перепускают накопленные газы в откачиваемый анализатор течеискателя, а о герметичности судят по изменению сигнала течеискателя. Перед началом и во время перепуска анализатор изолируют от всех средств откачки, удаляющих пробный газ, и откачивают селективным средством, а негерметичность определяют по разности значений нарастающего сигнала течеискателя, измеренных непосредственно перед перепуском и в момент установления минимального значения после перепуска и откачки всех газов, кроме пробного.

Б предлагаемом способе накопление осуществляется в изолированном от течеискателя объеме. Благодаря этому накопление можно проводить достаточна длительное время вне зависимости от фонового сигнала течеискателя.

Отключение средств откачки, удаляюцих пробный гаэ, и откачка анализато ра селективным средством осуществляется только на короткий период перепуска и измерения. Кроме того, поскольку накопление осуществляется вне течеискателя, разность сигналов течеискателя от перепускного пробного газа и нарастающего фонового оказывается более достоверной. Следовательно, увеличение времени накопления и снижение влияния фонового сигнала позволяет в предложенном способе повысить чувствительность испытаний, Способ рассчитан на применение течеискателя, вакуумная схема которого содержит селективное средство откачки, например течеискатель СТИ-ll, содержащий цеолитовый насос, Измерения в предлагаемом способе осуществляют в следующей последовательности.

Течеискатель включают и подготавливают к высокочувствительным испытаниям. Проверяемое изделие или объем, в котором осуществляют накопление, присоединяют к течеискателю через бы стровскрываемый клапан. Иэделие или объем накопления откачивают до высокого вакуума насосами течеискателя.

В объем над проверяемой оболочкой изделия (или непосредственно во внут- . реннюю полость изделия) подают пробный газ. Перекрывают быстровскрываемый клапан и проводят накопление в течение требуемого времени. За 2-3 мин до окончания накопления непосредственно перед перепуском изолируют анализатор от паромасляного насоса, продолжая его откачку селективным средством, включают самопишущий потенциометр и записывают фоновый сигнал течеискателя (на чертеже — начальный участок записываемого сигнала), По истечении времени накопления вскрывают клапан, изолирующий объем накопления, и перепускают накопленные газы в анализатор течеискателя.

В соответствии с записью, приведенной на чертеже, во время перепуска происходит всплеск сигнала течеискателя, обусловленный всеми накопленными газами. После откачки селективным средством всех газов, кроме гелия, сигнал течеискателя уменьшается до минимального значения, равного М, после чего происходит нарастание сигнала. Определяют значение фонового сигнала о в момент перепуска и минимальное значение с после перепуска. Разность а -.сС определяет ко P личество накопленного гелия, характеризующего степень негерметичности изделия.

По результатам предварительной градуировки с помощью калибровочной

1362987 течи определяют цену К деления выходного прибора течеискателя к количеству перепускаемого пробного газа.

С ччетом полученных (cL-oL ) ре P зультатов калибровки и времени t"„ накопления определяют величину Ц потока пробного газа, характеризующего негерметичность изделия:

/=K --- М.-ас м Па1 с

yg н(т) т (2) где Ц, — величина по ока калибровочной течи; — время накопления с калиброн (т1 ванной течью;

ЬЫт — изменение сигнала течеискателя за время t при открын(т1 той течи.

Одновременно с калибровкой определяют минимальный достоверный сигнал ас, течеискателя, который может быть принят как достоверный сигнал о течи на растущем фоновом сигнале.

Исходя из значений К и а „„, определяют необходимое время t накопления для обеспечения чувствительности испытаний й.„: сс даст

=К н (3) Далее изделие откачивают до высокого вакуума насосами течеискателя.

Вокруг иэделия создают замкнутый объ.— .

Пример. Вакуумируемое иэделие должно быть герметично, натекание воздуха в его внутренний объем

- м la не должно превышать 10 с

Для проверки герметичности оболочки изделие присоединяют ко входу течеискателя СТИ-11 через быстровскрываемый клапан. С целью обеспечения требуемой чувствительности контроля проводят калибровку течеискателя и определяют необходимое время накопления. Калибровку проводят в режиме высокочувствительных испытаний с помощью калибровочной течи ГЕЛИТ. Определяют цену К деления выходного прибора течеискателя по количеству гелия:

Способ контроля герметичности изделий, заключающийся в том, что с

30 обеих сторон проверяемой оболочки иэделия создают замкнутые объемы, подают пробный газ в один иэ объемов, откачивают анализатор Во время накопления пробного газа в другом объеме, прекращают откачку анализатора, 35 измеряют фоновую концентрацию пробного газа в нем, перепускают накопленные газы в анализатор, измеряют суммарную концентрацию пробного газа

40 в нем, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, прекращают откачку из анализатора только пробного газа непосредственно перед перепуском, продол. ая откачку остальных газов, и не.45 прерывно регистрируют концейтрацию пробного газа в анализаторе, измерение фоновой концентрации осуществляют в момент начала резкого увеличения концентрации во время перепуска, а измерение суммарной концентрации - в момент установления ее мини= мального значения после перепуска и по их разности определяют негерметич- ность, 5

25 ем (с помощью полиэтиленового чехла или резиновой перчатки). Подают в объем гелий и перекрывают клапан, изолирующий изделие от течеискателя, зафиксировав начало накопления. 3а 23 мин до окончания накопления включают самопишущий потенциометр, перекрывают дросселирующий клапан, изолирующий паромасляный насос и записывают фоновый сигнал течеискателя. По окончании накопления быстро вскрывают изолирующий изделие клапан и перепускают накопленные газы в течеискатель

Определяют величину фонового сигнала а, в момент перепуска и минимальный: сигнал ас после перепуска. Подставляя полученные значения в уравнение (!), определяют величину натекания гелия в изделие.

Предлагаемый способ найдет применение в производстве электровакуумных приборов, повысив качество прошедших контроль изделий °

Формула и э о б р е т е н и я

1362987

cpa . нанолления юерекрыл7

Составитель Е.Масленников

Техред И.Попович Корректор Л.Пилипенко

Редактор А.Ревин

Тираж 776 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, R-35, Раушская наб., д. 4/5

6391/29

Заказ

Производственно-полиграфическое предприятие, r. ж р Л У

У го о л. Проектная, 4