Эллипсометр

Эллипсометр

Реферат

 

1. Эллипсометр, содержащий последовательно установленные и оптически связанные лазерный источник излучения и круговой поляризатор, поляризатор и компенсатор, расположенные в плече поляризатора, а также зеркальную диафрагму, экран для визуального наблюдения и фотоприемник, расположенные в плече анализатора, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений оптических характеристик анизотропных и не однородных по поверхности образцов, он дополнительно содержит кинематически сопряженную с плечом поляризатора диафрагму, расположенную после компенсатора по ходу излучения лазерного источника.

2. Эллипсометр по п.1, отличающийся тем, что перед анализатором по ходу излучения лазерного источника расположена диафрагма.