Графитовый тигель для получения монокристаллов карбида кремния

Графитовый тигель для получения монокристаллов карбида кремния

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

М136564

Класс 40Ь, 21

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная аруппа Л6 161

Ю. М. Шашков и H. Я. Шушлебина

ГРАФИТОВЫЙ ТИГЕЛЬ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ

КАРБИДА КРЕМНИЯ

Заявлено 16 февраля 1960 г. за М 654833, 22 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Б оллетене изобретенп1Ь> Ле 5 за 196| г.

Осуществление способа получения монокристаллов карбидов кремния кристаллизацией из расплава кремния затрудняется отсутствием подходящего материала тигля для расплавления кремния. Кварцевые тигли при перегреве, необходимом для выращивания монокристаллоз карбида кремния, размягчаются, что вызывает выбросы кремния; тигли даже из графита высокой плотности пропускают кремний.

Описываемый способ подготовки графитового тигля позволяет использовать последний для выращивания монокристаллов карбида кремния. Сущность способа заключается в том, что графитовый ти;ель подвергают нагреву до 1000 — 1200 в атмосфере предельных углеводородов, например в атмосфере гептана, в результате чего поверхность тигля и внутри и снаружи покрывается пироуглеродом, что повышает стойкость тигля.

Предмет изобретения

Графитовый тигель для получен ия монокристаллов карбида кремния путем выращивания из расплава кремния, î T.ë и ч а ю щ и и ся тем, что, с целью повышения стойкости тигля, его подвергают нагреву при

1000 — 1200 в атмосфере предельных углеводородов, например в гепта не.