Эллипсометрический способ контроля качества полирования деталей

Эллипсометрический способ контроля качества полирования деталей

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к измери тельной технике, в частности к области оптического приборостроения. Цель изобретения - повьшение производительности - достигается путем экспрессного определения качества полирования . Для образцов определенного материала определяют на эллипсометре угол падения и азимут поляризации, при котором отраженное излучение будет поляризовано по кругу, что соответствует достижению главного угла . падения и главного азимута поляризатора . Заменяя эталон контролируемым образцом для найденных углов падения и азимута поляризации, определяют отклонение состояния поляризации отраженного поляризационного света от круговой поляризации,, по которому судят о качестве полирования.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (19) (11) А1 (51) 4 G 01 В 11 30

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (2 1) 4046877/24-28 (22) 3 1.03.86 (46) 15.01.88. Бюл. № 2 (72) В.П.Маслов, Т.С.Мельник и В.А.Одарич (53) 531.717 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 1142464, 1985. (54) ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИИ СПОСОБ. КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПОЛИРОВАНИЯ ДЕТАЛЕЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к области оптического приборостроения. Цель изобретения — повьппение производительности — достигается путем экспрессного определения качества полирования. Для образцов определенного материала определяют на эллипсометре угол падения и азимут поляризации, при котором отраженное излучение будет поляризовано по кругу, что соответствует достижению главного угла, падения и главного азимута поляризатора. Заменяя эталон контролируемым образцом для найденных углов падения и азимута поляризации, определяют отклонение состояния поляризации отраженного поляризационного света от круговой поляризации, по которому судят о качестве полирования.

1366878

Формула и з обретения

Составитель В.Климова

Техред М.Ходанич Корректор И.Муска

Редактор А.Ревин

Заказ 6826/41 Тираж 680 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к оптическому приборостроению.

Цель изобретения — увеличение про5 изводительности контроля.

Поставленная цель достигается путем экспрессного определения качества полирования поверхностей.

Способ осуществляют следующим об- 1п разом.

Предварительно на столик эллипсометра устанавливают эталонную деталь и определяют угол падения и азимут поляризатора, при котором отраженное 15 .излучение будет поляризованным по кругу. Это регистрируется по равенству интенсивностей Т, = I = I, при трех азимутах анализатора, что соответствует достижениюглавного угла па- 20 о дения (Ь = 90 ) и главного азимута поляризатора .(Q =() .

Эту операцию производят однократно для образцов определенного материала. 25

Затем, располагая на столик эллипсометра контролируемый образец, устанавливают угол падения света и азимут поляризации поляризатора и анализатора эллипсометра в соответствии дд с определенными значениями углов для э талона.

Измеряют соответствующие интенсивности отраженного света. о 4 I>î отраженно 3

35 го от контролируемого образца поляризованного света позволяет заключить, что качество полирования соответствует эталону, так как отраженный свет будет эллиптически поляризован 4о пока его главный угол и эллиптичность не станут равными главному углу и эллиптичности эталонного образца.

Определение круговой поляризации может быть осуществлено либо по равенстHу интенсивности I = 45 = I9o, либо анализатором, вращающимся с постоянной угловой частотой.

По величине отклонения состояния поляризации отраженного поляризованного света от круговой поляризации судят о качестве полирования контролируемого образца.

Эллипсометрический способ контроля качества полирования деталей, заключающийся в том, что устанавливают угол падения света и азимут поляризатора и анализатора эллипсометра и по состоянию поляризации света, отраженного от детали, судят о качестве полирования, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью увеличения производительности контроля, предварительно для эталона определяют угол падения света и.азимут поляризации поляризатора эллипсометра, при котором отраженное излучение будет поляризовано по кругу, устанавливают угол падения света и азимут поляризации поляризатора и анализатора эллипсометра в соответствии с определенным значением углов для эталона, а о качестве полирования судят по величине отклонения состояния поляризации отраженного поляризируемого света от круговой поляризации.