Способ измерения эффекта киркендалла

Способ измерения эффекта киркендалла

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, а именно к способам определения параметров, характеризующих процессы пластической деформации при взаимной диффузии в металлах. Целью изобретения является повьшение точности измерения путем . исключения ошибок, связанных с присутствием инертных меток между слоями металла. Для этого формируют об разец напылением слоев одного металла в виде ступеней на поверхность другого металла. После диффузионного отжига образца измеряют изменение высоты ступеней,- расположенных на различном расстоянии от контакта одного металла с другим. 1 ил., 1 табл.

СОЮЗ COBETCHHX %

РЕСПУБЛИК (19) (11) сЮ 4 С 01 N 13 00

ggf Щ рт q, ОПИСАНИЕ ИЗОбРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ИБЛХО7 я д

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4133467/24-25 (22) 25.08.86 (46) 23.01.88. Бюл. У 3 (75) В. И. Стрелков и В. Д. Безногих (53) 539.219.3(088.81 (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЭФФЕКТА КИРКЕНДАЛПА (57) Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, а именно к способам определения параметров, характеризующих,процессы пластической деформации при взаимной диффузии в металлах. Целью изобретения является

:повышение точности измерения путем .исключения ошибок, связанных с при" сутствием инертных меток между слоями металла. Для этого формируют образец напылением слоев одного металла в виде ступеней на поверхность другого металла. После диффузионного отжига образца измеряют изменение высоты ступеней,. расположенных на различном расстоянии от контакта од" ного металла с другим. 1 ил., 1 табл.

СЮ

Cb . 00

° 1

С5

Температура отжига

400 С, время отжига, 2 ч

Jhow =

=h "-11

1 мкм

dh1==Ь -h мкм

h мкм

Температура отжига

400 С, время отжига, 1 ч

h, мкм

h" мкм

1,12

0,1

1,10

1,00

0,12

-0,03

-0,05

1,12

1,10

1,27

0,02

1,25

1,25

1,08

1,08

1,08

1 13687

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, а именно к способам определения параметров, характеризующих процессы пластической деформации при взаимной диффузии в металлах, и может быть использовано для измерения эффекта Киркендалла, заключающегося в изменении.локальных объемов в твердых телах в процессе 10 взаимной диффузии.

Целью изобретения является повы шение точности измерения путем исключения ошибок, связанных с присутствием инертных меток между слоями ме- 1}. телла.

На чертеже изображен сформированный образец для измерения эффекта

Киркендалла.

Пример. На отполированную по- 20 верхность предварительно отожженного медного образца, выполненного в виде параллелепипеда размером 15х15х х2 мм путем послойного напыпения в вакууме, наносят слой никеля в виде 25 ступенчатого тела (чертеж).

Напыление проводится таким образом, чтобы высота ступенек находилась в интервале 0,5-5 мкм.

С помощью интерференционного мик- 3р роскопа измеряют высоту ступенек.

После этого образец отжигают при темо пературе 400 С в течение заданного времени и измеряют высоту ступенек

t после отжига.

Данные, полученные при измерении высот ступенек с помощью интерферен16 2 ционного микроскопа до и после отжига, сведены в таблицу.

Как видно иэ таблицы, с помощью предлагаемого способа удалось зафик. сировать изменения в локальных объемах (эффект Киркендалла) в пределах

0,02 мкм, что недостижимо с помощью известного способа.

Анализируя данные для ступеней, расположенных на различных расстояниях от плоскости контакта, получают координатную (координационную) зависимость Киркендаллового смещения, которую используют для расчета парци-, альных коэффициентов диффузии аналогично известному способу, Формула изобретения

Способ измерения эффекта Киркендалла, заключающийся в формировании образца в виде плоских слоев одного металла на поверхности второго металла, диффузионном отжиге образца и измерении изменения геометрических параметров образца после отжига, отличающийся тем, что, с целью повышения точности путем исключения ошибок, связанных с присутствием инертных меток между слоями металла, образец формируют поэтапным напылением слоев одного металла в виде ступеней на поверхность второго металла и измеряют изменение высоты каждой ступени после диффузионного отжига.

Составитель А. Кощеев

Редактор Л. Гратилло Техред М.Дидыс Корректор А. Обручар

Щ Ю Ф а а а

Заказ 282/43- Тираж 847 Подписное

"ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4