Сверхвысоковакуумный затвор

Сверхвысоковакуумный затвор

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для герметичного перекрытия сверхвысоковакуумных коммуникаций. Цель изобретения - повышение надежности и уменьшение усилия герметизации путем устранения оксидной пленки на поверхности уплотнителя в открытом положении затвора при помощи подачи энергии от источника питания. В затворе с запорным элементом 4 с металлическим уплотнителем , взаимодействующим с седлом 2, в корпусе 1 размещен катод, входящий в катодньй узел 9. Катод выполнен по форме эквидистантным поверхности уплотнителя 5, при этом катод и уплотнитель соединены с источником питания. 2 з.п. ф-лы, 6 ил. i (Л со Nl со со сд СП

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (11 4 F 16 К 51/02 3/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4058040/31-08 (22) 16. 04. 86 (46) 15.02.88. Бюл. № 6 (71) Московский институт электронного машиностроения (72) В.Б.Батраков, Л.Я.Варлов, В.К.Лилье, Б.Г.Львов и П.А.Павлов (53) 62 1.646(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 872897, кл. F 16 К 51/02, 1981.

Авторское свидетельство СССР

¹ 478971, кл. F 16 К 3/00, 1976. (54) СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНЬЙ ЗАТВОР (57) Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для герметичного перекрытия сверхвысоковакуумных коммуникаций. Цель изобретения — повышение надежности и уменвшение усилия герметизации путем устранения оксидной пленки на поверхности уплотнителя в открытом положении затвора при помощи подачи энергии от источника питания. В затворе с запорным элементом 4 с металлическим уплотнителем, взаимодействующим с седлом 2, в корпусе размещен катод, входящий в катодный узел 9. Катод выполнен по форме эквидистантным поверхности уплотнителя 5, при этом катод и уплотнитель соединены с источником питания. 2 з.п. ф-лы, 6 ил.

1373955 лятор.

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для герметичного перекрытия сверхвысоковакуумных коммуникаций.

Целью изобретения является повышение герметизации за счет устранения оксидной пленки на поверхности уплотнителя в открытом положении затвора при помощи подачи энергии от источника питания.

На фиг.1 схематически показан сверхвысоковакуумный затвор с пневмоприводом в закрытом положении со снятым фланцем; на фиг.2 — разрез

А-А на фиг.1; на фиг.3 — разрез Б-Б на фиг.1 (затвор в открытом положении); на фиг.4 — то же, с экраном, размещенным между катодом и корпусом; на фиг.5 — то же, с изолятором, размещенным между уплотнителем и запорным элементом; на фиг.6 — то же, с заземленным уплотнителем.

Затвор (фиг.1 и 2) состоит из корпуса 1 с седлом 2, механизма 3 перемещения запорного элемента 4 с металлическим уплотнителем 5, фланца 6 с нажимным диском 7, пружинных упоров

8 и катодного узла 9..Катодный узел (фиг.3) состоит из катода 10, который закреплен на изоляторе 11 и соединен через герметичный электрический ввод 12 с источником 13 электрического питания. От источника 14 постоянного напряжения через электрический ввод 12 подается напряжение на катод 10 и уплотнитель

5. В варианте затвора, представленном на фиг.4, между катодом 10 и корпусом 1 на изоляторе 11 размещен экран

15, соединенный с тем же выводом источника 14 постоянного напряжения, что и катод 10 (фиг.5), между запорным элементом 4 и уплотнителем 5 размещен изолятор 16.

5 !

О

Затвор работает следующим образом, Затвор закрыт. При его открывании прекращается подача воздуха от пневмопривода и под действием пружинных упоров 8 нажимной диск 7 поднимается.

При этом за счет механизма 3 перемещения происходит приподнятие запорного элемента 4 с уплотнителем 5 над седлом 2 и его поворот для открывания проходных отверстий. По окончании поворота контактная поверхность уплотнителя 5 запорного элемента 4 располагается напротив катода 10.

Затвор открыт.

Перед его закрытием включаются источники 13 и 14 питания, обеспечивая нагрев катода 10 и создание ускоряющего напряжения между катодом и уплотнителем 5. По окончании обработки контактной поверхности уплотнителя источники 13 и 14 питания отключаются, включается пневмопривод и происходит закрытие затвора за счет перемещения нажимного диска 7 в обратном направлении.

Формула изобретения

1. Сверхвысоковакуумный затвор, содержащий корпус, запорный элемент с металлическим уплотнителем, седло и привод, отличающийся тем, что, с целью повышения герметизации за счет устранения оксидной пленки, в корпусе напротив уплотнителя запорного элемента в открытом положении затвора размещен катод, по форме эквидистантный контуру контактной поверхности уплотнителя, причем уплотнитель и катод соединены с источником питания.

2. Затвор по п.1., о т л и ч а ю— шийся тем, что между катодом и корпусом на изоляторе размещен экран.

3. Затвор по и. 1, о т л и ч а юшийся тем, что между запорным органом и уплотнителем размещен изо1373955 ф е

1373955

Б — Б

Б-Б

Составитель Т. Максимкина

Техред А. Кравчук Корректор Л.Пилипенко

Редактор Ю.Середа

Заказ 554/32

Тираж 784 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4