Способ изготовления металлостеклянных изделий

Способ изготовления металлостеклянных изделий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ . СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (И) А1 щ) 4 С 03 С 29/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3927608/29-33 (22) 27.05.85 (46) 29.02.88. Бюл. NI 8

-(71) Минский. радиотехнический институт (72) И.Л.Раков, З.Н.Шалимо, И.Ф.Мучак, Н.П.Соловей и А.П.Молочко (53) 666.1.037.5 (088.8) (56) Патент США Р 3573021, кл. 65-43, 1971.

Б.Роус. Стекло в электронике. М.:

Советское радио, 1969, с. 180-183.. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕТАЛЛОСТЕКЛЯННЫХ ИЗДЕЛИЙ (57) Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к изготовлению проходных изоляторов. Изобретение позволяет повысить качество прохОДных изОлятОрОВ, Для этОГО ВыВОДы и основания собирают в специальную пресс-форму со строго заданным объемом и отвечающим требуемой конструкции корпуса, затем методом литья под давлением 3-4 атм места соединения металлических деталей заполняют шлио кером на основе стекла при 65-70 С, т.е. формируют внешний вид проходного изолятора; а затем при термообработке, которую проводят без замкнутого объема, формируют слой и получают требуемые геометрические размеры проходных изоляторов. Проходные изоляторы трещин отлипаний не имеют, герметичны, обладают высокой механической прочностью.

1377253

Составитель С.Мелобокова

Техред А.Кравчук

Редактор А.Лежина

Корректор И.Шароши

Тираж,425

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 812/16

Подписное

Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная,4

Изобретение относится к формированию проходных изоляторов и нх соединений с металлической арматурой в корпусах микросхем.

Целью изобретения является повышение качества проходных изоляторов.

Изготовление проходных изоляторов . осуществляют следующим образом.

Выводы и основания собирают в спе- 10 циальную пресс-форму со строго заданным и отвечающим требуемой конструкции корпуса объемом, затем методом литья под давлением (3-4 атм) места соединения металлических деталей заполняют шликером при 65-70 С, т.е. формируют внешний вид проходного изолятора. При этом шликер подается в требуемые места под давлением, в результате уменьшается вероятность образования незаполненных объемов, вследствие чего повышается надежность корпуса.

Шликер может быть приготовлен из

87 мас.Х .стеклянного порошка, pasMo- 25 лотого в шаровой мельнице в течение

16 ч, 12,5 мас.7. парафина и 0,5 мас.Х олеиновой кислоты.

После охлаждения сформированного узла последний подвергают термообработке для удаления технологической связки.

При последующей термообработке проводят формирование спая, а также геометрических размеров проходного изолятора, Удаление связки производят на воздухе при постепенном подъеме температуры от комнатной до температуры спекания черепка, которую выбирают на 20-30 С выше температуры нао чала размягчения применяемого стекла..

Спаивание стекла с металлом ведут при 970-990 С, при этом геометрические размеры проходного изолятора создаются без строго заданного объема, 45 что позволяет отказаться от применения графитовых кассет.

Пример 1. Выводы и основание из ковара подвергают обезжириванню и травлению. Производят сборку их в специальную разъемную форму, затем методом литья под давлением 4 атм заполняют основание шликером на основе стекла С 52-1 при 65-70 С. Затем изоляторы извлекают иэ формы, помещают в адсорбент (Al Оэ) и на воздуо хе в интервале температур 20-600 С подвергают термообработке. Скорость о подъема температуры 30 /ч. Спаивание изоляторов осуществляют в конвейерной печи СК-11 в среде азота при

990 С с выдержкой. в зоне максимальной температуры 15 мин. Спаивание проводят в металлических кассетах для фиксации выводов.

Пример 2. Подготовительные операции те же, что и в примере 1. о

Спаивание осуществляют при 970 С с выдержкой в зоне максимальной температуры 20 мин.

Изготовленные согласно предлагае мому способу проходные изоляторы не имеют. трещин, отлипаний и натекания

-з -4 гелия. Узлы герметичны 1 ° 10 м Па с имеют высокую механическую прочность и выдерживают испытание на термоциклирование 10 циклов. ф о р м у л а и э о б р е т е н и я

Способ изготовления металлостеклянных изделий путем формирования стеклянной детали, изготовления металлостеклянной сборки и последующей термообработки, о т л и ч а ю щ и й- . с я тем, что, с целью повышения ка-. чества проходных изоляторов, изготовление металлостеклянной сборки ведут, одновременно с изготовлением стеклянной детали, размещая в замкнутом объеме металлические детали и заливая затем в него под давлением шликер из: стеклопорошка, а затем производят термообработку беэ замкнутого объема °