Устройство для контроля шероховатости поверхности
Иллюстрации
Показать всеРеферат
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано , в частности, для контроля качества поверхности. Цель изобретения - упрощение конструкции и повышение точности контроля. Устройство содержит источник 1 света, коллимилинзу 2, первый и второй коаксиально расположеннме цилиндрические отражатели 3 и 4, ось которых совпадает с оптической осью коллимирующей лиизы 2, а в последнем из них установлен источник 1 света. to
„„SU„„1 79618
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИН
А1 (.)и .! G 01 B 11/30
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4147736/24-28 (22) 17.11.86 (46) 07,03.88. Бюл. N - 9 (71) Научно-исследовательский и конструкторско-технологический институт средств контроля электронной аппаратуры и изделий электронной техники (72) А.Л.Климов, Н.И.Давыдов, М.В.Иоффе и Б.И,Красилыциков (53) 531. 715. 27 (088. 8) (5Ü) Авторское свидетельство СССР
М- 868348, кл. G 01 В 11/30, 1980, Авторское свидетельство СССР
У 1312380, кл. G 01 В 11/30, 1986. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ИЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для контроля качества поверхности. Цель изобретения — упрощение конструкции и повышение точности контроля. Устройство содержит источник 1 света, коллимирующую линзу 2, первый и второй коаксиально расположенные цилиндрические отражатели 3 и 4, ось которых совпадает с оптической осью коллимирующей линзы 2, а в последнем из них установлен источник 1 света, 1379618 полупрозрачную пластину 5, расположенную между источником 1 света и коллимирующей линзой 2 под углом к оси последней и закрепленную на втором цилиндрическом отражателе 4, фотоприемник 6 сравнения, расположенный на оси, точка пересечения которой с оптической осью коллимирующей линзы 2 лежит на поверхности полупрозрачной пластины 5 со стороны источника 1 света, фотоприемник 7 для регистрации зеркально отраженного излучения, расположенный на оси, точка пересечения которой с оптической осью коллимирующей линзы 2 лежит на
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для контроля качества поверхности.
Цель изобретения — упрощение конструкции и повышение точности контроля за счет установки фотоприемника сравнения и фотоприемника для регистрации зеркально отраженного излучения во втором цилиндрическом 1О отражателе (поскольку не предъявляются жесткие требования к точности расположения и изготовлению элементов устройства, настройка заключается лишь в установке источника света в фокальную область коллимирующей линзы), а также за счет исключения влияния на результат контроля отверстий цилиндрических отражателей.
На чертеже изображена принципиальная схема устройства для контроля шероховатости поверхности.
Устройство содержит источник 1 света, коллимирующую линзу 2, первый и второй коаксиально расположенные
25 цилиндрические отражатели 3 и 4, ось которых совпадает в оптической осью коллимирующей линзы 2, а в последнем иэ них установлен источник 1 света, полупрозрачную пластину 5, расположенную между источником 1 света и коллимирующей линзой 2 под углом к оси последней и закрепленную на втором цилиндрическом отражателе 4, фотоприемник 6 сравнения, расположен-З5 поверхности полупрозрачной пластины
5 со стороны коллимирующей линзы 2, фотоприемник 8 для регистрации диффузно отраженного излучения, расположенный на оптической оси коллимирующей линзы 2 за источником 1 света, рассеинатель 9 для обеспечения равномерного распределения на фотоприемнике 8, блок (на чертеже не показан) обработки сигналов с фотоприемников 6, 7 и 8. Фотоприемник 6 сравнения и фотоприемник 7 для регистрации отраженного излучения установлены во втором цилиндрическом отражателе 4. 1 ил.
2 ный на оси, точка пересечения которой с оптической осью коллимирующей линзы 2 лежит на поверхности полупрозрачной пластины 5 со стороны источника 1 света, фотоприемник 7 для регистрации зеркально отраженного излучения, расположенный на оси, точка пересечения которой с оптической осью коллимирующей линзы 2 лежит на поверхности полупрозрачной пластины
5 со стороны коллимирующей линзы 2, фотоприемник 8 для регистрации диффуэно отраженного излучения, расположенный на оптической оси коллимирующей линзы 2 за источником 1 света, рассеиватель 9 для обеспечения равномерного распределения потока на фотоприемнике 8 и блок (не показан) обработки сигналов с фотоприемников
6 — 8, причем фотоприемник 6 сравнения и фотоприемник 7 для регистрации зеркально отраженного излучения установлены во втором цилиндрическом отражателе 4.
Устройство работает следующим образом, Излучение, посылаемое источником
1 света, попадает на полупрозрачную пластину 5 и раздваивается. Отраженный пучок попадает на фотоприемник
6 сравнения. Прошедший пучок коллимирующей линзой 2 проецируется на контролируемую поверхность 10. Источник 1 света расположен в фокальной области коллимирующей линзы 2, поэ1379618
Составитель Л.Лобзова
Техред Л.0лийнык
КорректоР M,Øàðoøè
Редактор О.Юрковецкая
Заказ 970/42 Тираж Ь80 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, r.Ужгород, ул.Проектная, 4 тому освещение контролируемой поверх. ности 10 происходит параллельным пучком по нормали к ней. Отраженное от поверхности 10 излучение делится
5 на две составляющие: зеркальную и диффузную. Зеркальная составляющая проходит коллимирующую линзу 2 и после отражения от полупрозрачной пластины 5 собирается на фотоприемнике 7 для регистрации зеркально отраженного излучения, Диффузная составляющая, многократно отразившись от поверхности первого и второго цилиндрических отражателей 3 и 4, проходит рассеиватель 9 и попадает на фотоприемник 8 для регистрации диффузно отраженного излучения ° Блок обработки сигналов с фотоприемников
6 — 8 обрабатывает полученные с них сигналы и выдает результат на отсчетное устройство (не показано), Формула и э о б р е т е н и я
Устройство для контроля шероховатости поверхности, содержащее последовательно установленные источник света и коллимирующую линзу, два коаксиально расположенных цилиндрических отражателя, установленных так, что их ось совпадает с оптической осью коллимирующей линзы, полупрозрачную пластину, расположенную между источником света и коллимирующей линзой под углом к оси последней и закрепленную на внутреннем цилиндрическом отражателе, в котором установлен источник света, фотоприемник для регистрации диффузно отраженного излучения, расположенный на оптической оси коллимирующей линзы за источником света, фотоприемник сравнения, расположенный на оси, точка пересечения которой с оптической осью коллимирующей линзы лежит на поверхности полупрозрачной пластины со стороны источника света, фотоприемник для регистрации зеркально отраженного излучения, расположенный на оси, точка пересечения которой с оптической осью коллимирующей линзы лежит на поверхности полупрозрачной пластины со стороны коллимирующей линзы, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения точности контроля, фотоприемник сравнения и фотоприемник для регистрации зеркально отраженного излучения установлены во внутреннем цилиндрическом отражателе.