Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Реферат

 

1. Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее кассету с установленным в ней подложкодержателем, прижим для фиксации подложки, нагреватель и механизм поворота подложкодержателя, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и обслуживания, механизм поворота подложкодержателя выполнен в виде двух цапф, жестко закрепленных одним концом в подложкодержателе, а другим - шарнирно в кассете, расположенных по оси симметрии подложкодержателя, пружины кручения, размещенной на одной из цапф и закрепленной одним концом на подложкодержателе, а другим в кассете, и магнитного замка, один из магнитов которого расположен на подложкодержателе, а другой - на кассете.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что подложкодержатель выполнен в виде рамки или кольца с углублением для установки подложки.

3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что прижим для фиксации подложки выполнен в виде рамки или кольца из магнитного материала или в виде разрезной рамки или кольца из пружинного материала, расположенных в подложкодержателе по периметру углубления.