Способ получения кремниевых заготовок

Способ получения кремниевых заготовок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Предмет изобретения

Способ получения кремниевых заготовок для получения монокристаллов по способу Чохральского путем диссоциации тетрайодида кремния, отличающийся тем, что, с целью обеспечения более равномерного распределения примесей в заготовках, в исходный тетрайодид кремния вводят йодиды легирующих металлов, например, мышьяка, сурьмы, бора и других.

Подп. к печ. 27/IV-61 г

Зак. 4127

Формат бум. 70)(108 /ie

Тираж 700

ЦБТИ при Комитете по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, М, Черкасский пер., д. 2/6

Объем 0,17 усл. п. л.Цена 3 коп.

Типография ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР, Москва, Петрозкз, 14,.

Редактор Н. Л. Леонтьева Техред А. А. Камышникова Корректор Л. Комарова