Способ гравирования элементов топологических рисунков на тонкопленочных покрытиях

Способ гравирования элементов топологических рисунков на тонкопленочных покрытиях

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к приборостроению , нреимущиственно к технологии изготов.тения топо. югических рисунков s. iCK- троакустических нреоГфазователей акустоэлектроиных устройств. Целью изобретения является повьппение качества изделия за счет устранения возможности повреждения подложки (стекло, керамика, монокрисгал,аы и т. д.) в процессе гравирования топологическг)го рисунка путем управления усилием нрижима инстру.меита. Способ гравирования основан на различии частот звуковы.х колебаний, вызванных резцом при механическо.м скрайбировании топологического рисунка, в различных режимах работы. В процессе гравирования осуществляют контроль спектра звуковых колебаний резца в области частот fi -fj, соответствующих режиму гравирования (скрайбирования) без повреждения подложки, т. е. когда резец касается поверхности подложки, но не повреждает ее. При увеличении интенсив- )1ости колебаний в диапазоне звуковых частот f - 1 снижают нагрузку на резец до ве.1ичины, при которой интенсивность звука но выходит за допустимые пределы, опреде- .iHOMbie экспериментально. Изменение нана резец может производиться оператором или специальным устройством, псушествляющи.м контроль интегральной интенсивности спектра в заданном диапазоне частот и регулирующи.м нагрузку на резец обратно пропорционально интегральной интенсивности спектра. 1 ил. « (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5ц 4 В 23 Я 15/00

ВСЕЙw„i>HR8 5 13,",, „13

НЗЛИО " И А

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPGHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сл:)

CO

CO

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4047031/25-08 (22) 31.03.86 (46) 15.03.88. Бюл. № 10 (72) В. И. Гвоздев (53) 621.91 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 774073, кл. В 23 В 1/00, 1980. (54) СПОСОБ ГРАВИРОВАНИЯ ЭДЕ

МЕ НТОВ TOI IOËOÃI4×ÅÑÊÈÕ РИСУНКОВ НА ТОНКО11ЛЕ НОЧ HhIX !1ОКРЫТИЯХ (57) ИзобретеHH< относится к приборостроению, преимх и;сстнен«о к технологии изготовления топологических рисунков vë< hтроакустических преобразователей акх<тоэлектронны устройств. 1сельк) изобретения является повып<ение качества изделия счет устранения возможности поврсih;« ни я подложки (стскло, ксрамика, монокрисгаллы и т. д.) н процессе граниронания топологическо< о рисунка пу гем i пранлеHHH усилием прижима инструмента. Способ

„; SU„„1380908 А1 гравирования основан на различии частот знуhoBblx колебаний, вызванных резцом при механическом скрайбировании топологического рисунка, в различных режима работы.

В процессе гравирования осуществляют контроль спектра звуковых колебаний резца н области частот f < — f, соответствующих режиму гравирования (скрайбирования) без повреждения подложки, т. е. когда резс.ц касается поверхности подложки, но не повреждает ее. При увеличении интенсив<п>сти колебаний в диапазоне звуковых частот i — f> снижают нагрузку на резец до величины, при которой интенсивность звука н< выходит за допустимые пределы, определя-мые экспериментально. Изменение нагр зки на резец может производиться оператором или специальным устройством, осуществляющим контроль интегральной интснсинности спектра в заданном диапазоне ч;<стот и регулируюгцим нагрузку на резец обратно пропорционально интегральной ингенсивности спектра. 1 ил.

1380908

ФОР.Мух)а ИЗОбРЕтЕНиЯ

Изобретение О!носится к приборостроению, преимущественно к технологии изгoTQBления ко;(ирующих элечентов типа мер переме!цения, длины и угла, а также технологии изготовления тонологических рисунков электроакустических преобразоватс лей для акустоэлс ктронных устройств.

Цель изобретения повышение качества гравировання, исключение повреждений поверхно(1Н Ilo T.toihêè режущим инстручентом в проц«сс«грывирования за счет контроля «II«KTp3 звуковых колебаний. возниK 3 K) ill H х В Рсл) новом x «TPойст Вс lf,х и подложке В Ilp()tt««гравировки, с последующим нзм«II«flit(. силы прижима резца к подл ож ке.

На чертеже представлено устройство, реал изуюнгее способ.

Способ осуществляется следук)щим обра:5OM.

В процесс«,(вижения гравировального инструменты (режущей кромкой по тонкопленочному покрыл ню контролируется спектр механических колебаний, возникающих в гравировальном инструменте или подложке.

Экспериментально <>ltpeделяются диапазон частот ((— 4 и ннт«грыльная интенсивность сп«ктры ч xlllHx в р«ihkt÷«! рыннровыння без рызруltt«ння подложки

В л;)льн«й()ге.".1 и процессе грывиро!)ыння силу тыв,инни (>« óп<сй кромки н3 под1oiKKx реl у.(нрл к» 1 IK, чтобы спс h 1 р лежал В Области 1 1«T() l f t Е, 3 «I () интенснвш>сть f1< (51!холн«!ы 33 aK«пс рнчента.)ьно уста НОВ. и нны«11р«л«лы.

X «Tp(>It«rf5 ), p<;1.1нзующее «»<>«<>6, сод«р,+,и г грывнрОВыльнын ннструл!«Н1 1, режуill 3H KP()%1K<1 >)О(()P()I О можст Iвн!

«Н в напр 1âë«lilt í л р«.1ки Л. В и«xo;tноч положении рсжущHH кромк3 Влд>лит В тонконлс llo

IIo ьхо,+,к ) 4. 11<1 I р<1Внрова:1ьном Hil(т румент«! Выкp(. !лс и лы гчик 5 мс x IHItчесhfix кол«банни, элс ктрнч«скн соединенный (В <О. 13 Ми fl II.(h()ЧH< I <) Гft l>IX I!OЛОСОВЫХ фН 1 ЬТр<)В 6 Вûx(>.(ы фильтров через 11«pehлючытел ь 7 xloi т поочс ре;1НО Ilo.têë >ОН ыться к входу у«lt.(н г(ля 8 мо(цности, выхо;(h()1()рого со«лннсн с ннлнкатором 9 (например осциллогры<р<>м н и р<.з выпрямитель (0 с катушкой 1 3, I«K Ipo÷31 IIIIT3, послс донат«льно с которой Вк it(>««II п<>тенциометр (2

Устройство р;16<я и 1 сл«дукпцнм образом. (1рн лвнжс ннн I p3Hkfðoâà.(Iüíoão инструмента В и;)нр;(В. с !litt! «грелки Л, I5 нс м и под1oihh«4 I5(>5ilIth lK) чс хынич«скн«кол< 635

1О

30 ния, лежащие в диапазоне звуковых частот fl -- Е>. Эти колебания преобразуются датчиком 5 в электрические сигналы, поступающие на входы фильтров 6, перекрывающих диапазон частот fl

Переключателем 7 подключают усилитель 8 мощности к тому из фильтров, выходной сигнал которого имеет наибольшую величину. Потенциометром 12 подбира: ют ток через катушку 1I такой величины, чтобы режущая кромка 2 полностью снимала тонкопленочное покрытие 3 с подложки 4. По мере затупления режущей кромки 2 интенсивность сигнала на выходе усилителя 8 мощности уменьшается, так как резец перестает касаться подложки.

Полярность включения катущки 11 к выпрямителю 10 выбирают такой, чтобы при уменьшении тока через обмотку катушки 11 сила прижима гравировального инструмента к поверхности гравируемой подложки увеличивалась. Благодаря этому сила прижима гравировального инструмента 1 увеличивается только по мере затупления режущей кромки 2 и, тем самым, компенсирует уменьшение режущей способности инструменты. Возможность повреждения подложки режущей кромкои 2 при этом практически исключается, так как при их соприкоснов«нии интенсивность сигнала на выходе усилителя 8 мощности возрастает, а прижим гравировального инструмента к подложке осл 3бл я«тс я.

Способ гравирования элементов топологических рисунков на тонкопленочных покрытнях, нанесенных на твердые полировани ые подложки, вкл юча кцци и механическое скрайбирование тонкопленочных покрытий рсжущим инструментом, отличающийсч тем, что, с целью повышения качества за счет исключения повреждений поверхности подложки инструментом в процессе гравирования, производят контроль спекТра акустического сигнала. сопровождающего механическое скрайбирование, определяют интервал частот и интенсивность сигнала, характеризующие режим скрайбирования без повреждения водложки, и в процессе скрайбирования ocótf5åñòâ«IHþò регулирование прижима режущего Hkl«Tp))ìåíò3 к поверхности гравируемой подложки обратно пропорционы ibHO интегральной интенсивности спектра ны частотах, соответствующих акустическому сигналу, возникающсчу в режиме скрайбнрования без повр«ждения подложки.

1380908

Составитель В. Алексеенко

Редактор И. Касарда Техред И. Верес Корректор С. Черни

Заказ 831,1! 5 Тираж 921 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий ! 13035, Москва, )К 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4