Способ получения карбида кремния

Способ получения карбида кремния

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Класс 121, 37 № 138238

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа И 45

В. А. Кравченко, Е. А. Вуколов, М. И, Гасик, А. С. Неговский, С. А. Моргулев и Р. И. Рагулина

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КАРБИДА КРЕМНИЯ

Заявлено 29 января 1960 г, за № 652616/23 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «51оллетене изобретений» № 10 за !961 г.

Известные способы получения карбида кремния путем восстановления кремнезема в электропечах открытого типа ввиду длительности процесса и высоких температур порядка 1600 требуют большого удельного расхода электроэнергии на тонну .получаемого карбида кремния. В получаемом этими способами карбиде кремния имеются вредные примеси (кремнезем и корольки ферросплавов).

Описываемый способ получения карбида кремния в электропечах путем восстановления кремнезема углеродом, добавляемым с избытком, отличается от известных тем, что он осуществляется в вакууме, вследствие чего может быть снижена температура с 1600 до 1200, ускоряется процесс восстановления и образования карбида кремния и соответственно сокращается расход электроэнергии. Вакуум обеспечивает полноту протекания реакций, которые сопровождаются образованием неконденсирующихся газов, а также металлов, имеющих при температурах процесса большую упругость пара, что обеспечивает уменьшение вредных пр им е с ей.

Ведение процесса под вакуумом позволяет попутно улавливать и использовать отсасываемые горючие газы, выделяемые в процессе нагревания и образования карбида кремния.

При осуществлении способа могут быть использованы электропечи сопротивления с горизонтальным расположенным рабочим сопротивлением (керном).

Конструкция печи и способ загрузки ее шихтовыми материалами остаются за небольшим изменением отдельных деталей прежними. 3агруженную шихтовыми материалами печь одним из известных способов вдвигают в вакуумную камеру. Вакуумная камера выполняется из металла и снабжается двумя герметически закрывающимися крышками (дверями) с герметически вмонтирован ными в них токопроводами. Камера внутри футеруется огнеупорным кирпичом, а снаружи изолируется нетеплопроводным материалом. № 138238

Предмет изобретения

Способ получения карбида кремния в электропечах путем восстановления кремнезема углеродом, добавляемым в избытке, отл и ч а юшийся тем, что, с целью снижения температуры процесса и его интенсификации, восстановление кремния осуществляют под вакуумом

Корректор С. Цверина

Редактор С. И. Зотов Техред А. А Камышникова

Формат оум. 70)(108 /16

Тираж 500

ЦБТИ при Комитете по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва Центр, М. Черкасский пер. д. 2/6.

Объем 0,18 изд. л.

Цена 4 кон.

Подп. к печ. 12.VI-61 г

Зак. 5608

Типография UETH Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР, Москва, Петровка, 14.

Процесс ведется при давлении 30 — 50 мм рт. ст., для достижения такого остаточного давления устанавливаются водокольцевые механические насосы или другие подобнь1е устройства в количестве 3 — 4 штук.

Монтаж вакуумопроводов выполняется таким образом, чтобы была возмож ность переключения работы насосов с параллельной работы на последовательную.

В первую половину длительности процесса насосы работают парал лельно, а к концу процесса, когда требуется более высокий вакуум, .насосы переключают на последовательную работу.

Отсасываемый газ, пройдя холодильник и очистку, может быть использован для производственных нужд.