Турбомолекулярный вакуумный насос

Турбомолекулярный вакуумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение позволяет улучшить вакуумные характеристики насоса путем обеспечения безмасляной откачки. В корпусе 1 последовательно размещены турбомолекулярная и молекулярная ступени 3 и 4 насоса и соединенньй с ними привод, выполненный в виде газовой турбины 9. Третья ступень насоса вьшолнена в виде газодинамического уплотнения 5, подключенного входом к выходу ступени 4. Пассивное сопло 7 вихревого эжектора 6 подключено к выходу газодинамического уплотнения и при помощи клапана 8 к выходу ступени 4. Эжектор позволяет получить предварительное разрежение в камере, гарантируя отсутствие миграции углеводородов в камеру. Наличие клапана 8 позволяет быстро выходить на заданный режим работы, обеспечивая безмасляный вакуум, и осуществлять запуск воздуха в камеру при остановке насоса, минуя уплотнение 5. а 2 ил. (Л

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (бН4 Р 04 D 19 04

О

Л

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ -:;-:

Н д BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

2 (21) 3950031/25-06 (22) 05.09.85 (46) 30.03.88. Бюл. № 12 (72) Б.В.Харламов и В.И.Гагарин (53) 621.527.8 (088.8) (56) Заявка ФРГ ¹ 2412624, кл. F 04 D 19/04, 1974. (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ

НАСОС (57) Изобретение позволяет улучшить вакуумные характеристики насоса путем обеспечения безмасляной откачки.

В корпусе 1 последовательно размещены турбомолекулярная и молекулярная ступени 3 и 4 насоса и соединенный с ними привод, выполненный в виде гаÄÄSUÄÄ 1384?98 А1 зовой турбины 9. Третья ступень насоса выполнена в виде гаэодинамического уплотнения 5, подключенного входом к выходу ступени 4. Пассивное сопло 7 вихревого эжектора 6 подключено к выходу газодинамического уплотнения и при помощи клапана 8 к выходу ступени 4. Эжектор позволяет получить предварительное разрежение в камере, гарантируя отсутствие миграции углеводородов в камеру. Наличие клапана 8 позволяет быстро выходить на заданный режим работы, обеспечивая безмасляный вакуум, и осуществлять запуск воздуха в камеру при остановке насоса, минуя уплотнение 5. д

2 ил.

1384798

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в турбомолекулярных вакуумных насосах.

Целью изобретения является улуч5 шение вакуумных характеристик путем обеспечения безмасляной откачки, На фиг. 1 представлен турбомолекулярный вакуумный насос, продольный разрез; на фиг. 2 — газодинамическое уплотнение.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с входным патрубком 2, последовательно размещенные в корпусе 1 турбомолекулярную ступень 3 и молекулярную ступень 4 и соединенный с ними привод, причем насос дополнительно содержит третью ступень, выполненную в виде газодинамического уплотнения 5, подключен- 20 ного входом к выходу молекулярной ступени 4, и вихревой эжектор 6, пассивное сопло 7 которого подключено к выходу газодинамического уплотнения и при помощи клапана 8 к выходу мо- 25 лекулярной ступени 4, а привод выполнен в виде газовой турбины 9.

Насос работает следующим образом.

Открывают клапан 8 и включают вихревой эжектор 6. Предварительное раз- 30 режение создают параллельно на выходах молекулярной ступени 4 и газодинамического уплотнения 5. При достижении в откачиваемой камере (не показано) предварительного разрежения, включают газовую турбину 9. После

35 выхода на номинальную частоту вращения турбины 9, клапан 8 включает и выключает вихревой эжектор 6. Затем насос работает до достижения задан40 ного разрежения в камере и отрабатывается технологический режим, после чего открывается клапан 8 и выключается турбина 9 до полной остановки.

Установленный на выходе молекулярной ступени 4 вихревой эжектор 6 позволяет получить предварительное разрежение в камере, гарантируя отсутствие миграции углеводородов в камеру.

Наличие клапана 8 на выходе молекулярной ступени позволяет быстро выходить на заданный режим работы, обеспечивая безмасляный вакуум и осуществлять напуск воздуха в камеру при остановке насоса, минуя газодинамическое уплотнение 5.

Формула и з о б р е т е н и я

Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с входным патрубком, последовательно размещенные в корпусе турбомолекулярную и молекулярную ступени и соединенный с ними привод, отличающийся тем, что, с целью улучшения вакуумных характеристик путем обеспечения безмасляной откачки, насос дополнительно содержит третью ступень, выполненную в виде газодинамического уплотнения, подключенного входом к выходу молекулярной ступени, и вихревой эжектор, пассивное сопло которого подключено к выходу газодинамического уплотнения и при помощи клапана — к выходу молекулярной ступени, а привод выполнен в виде газовой турбины.

1384798

Составитель Е.Забугин

Редактор Ю.Середа Техред А.Кравчук Корректор В. Бутяга

Заказ 1390/29 Тираж 574 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r, Ужгород, ул. Проектная, 4