Интерферометр для измерения линейных перемещений

Интерферометр для измерения линейных перемещений

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерениям перемещений при вибрации. Целью изобретения является повышение чувствительности. Излучение от источника 1 разделяется светоделителем 2 на два потока, один из которых направляется на основание отражателя 3. После отражения от боковой грани oVpaжaтeля 3 поток направляют снова на основание отражателя 3. Последний из отраженных лучей потока направляют через срез 5 отражателя 4 на светоделитель 2, а через него - на фотоприемник 9. Второй поток светоделителя 2 направляют на основание отражателя 6. После отражения от боковой грани которого поток направляют на основание отражателя 7. После отражения от боковой грани отражателя 7 поток снова направляют на основание отражателя 6, последний из отраженных лучей потока направляют через срез 8 отражателя 7 на светоделитель 2, где он оборачивается на 90° и направляется на фотоприемник 9, на котором происходит пространственное совмещение двух потоков от светоделителя 2. 1 ил. i (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5В 4 G Ol В 9 02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4139862/25-28 (22) 28.10.86 (46) 30.03.88. Бюл. № 12 (71) Всесоюзный научно-исследовательский институт метрологической службы (72) В. Я. Бараш, Г. С. Пресняков и А. Л. Резников (53) 531.715.1 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1275205, кл. G 01 В 9/02, 1985. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерениям перемещений при вибрации. Целью изобретения является повышение чувствительности.

Излучение от источника 1 разделяется светоделителем 2 на два потока, один из ко„„SU„„1384936 А 1 торых направляется на основание отражателя 3. После отражения от боковой грани отражателя 3 поток направляют снова на основание отражателя 3. Последний из отраженных лучей потока направляют через срез

5 отражателя 4 на светоделитель 2, а через него — на фотоприемник 9. Второй поток светоделителя 2 направляют на основа ние отражателя 6. После отражения от боковой грани которого поток направляют на основание отражателя 7. После отражения от боковой грани отражателя 7 поток снова направляют на основание отражателя 6, последний из отраженных лучей потока направляют через срез 8 отражателя 7 на светоделитель 2, где он оборачивается на 90 и направляется на фотоприемник 9, на котором происходит пространственное совмешение двух потоков от светоделителя 2. 1 ил.

1384936

Формула изобретения

Составитель Н. Захаренко

Редактор А. Ревин Техред И. Верес Корректор М. Максимишинец

Заказ 1119/36 Тираж 680 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерениям перемещений при вибрации.

Цель изобретения — повышение чувствительности интерферометра.

На чертеже изображена схема предлагаемого интерферометра.

Интерферометр содержит источник 1 излучения, светоделитель 2 для разделения излучения на два потока, в одном из потоков последовательно установлены два трехгранных уголковых отражателя 3 и 4, ориентированных основаниями навстречу друг к другу, вершина 5 отражателя 4 усечена плоскостью, параллельной основанию, в потоке излучения, проходящего через светоделитель

2, также два трехгранных уголковых отражателя 6 и 7, вершина 8 третьего отражателя 7 усечена плоскостью, параллельной основанию, и во втором потоке от светоделителя 2 — фотоприемник 9.

Интерферометр работает следующим образом.

Излучение от источника 1 разделяется светоделителем 2 на два потока, один из которых направляется на основание отражателя 3. После отражения от боковой грани отражателя 3 поток направляют снова на основание отражателя 3. Последний из отраженных лучей потока направляют через срез (вершину) 5 отражателя 4 на светоделитель 2, а через него — на фотоприемник 9. Второй поток светоделителя 2 направляют на основание отражателя 6. После отражения от боковой грани отражателя 6 поток направляют на основание отражателя

7, а после отражения от боковой грани отражателя 7 поток снова направляют на основание отражателя 6. Последний из отраженных лучей потока направляют через срез (вершину) 8 отражателя 7 — на светоделитель 2, где он оборачивается на 90 и направляется на фотоприемник 9, на котором происходит пространственное совмещение двух потоков от светоделителя 2.

Интерферометр для измерения линейных перемещений, содержащий последовательно расположенные источник излучения и светоделитель для разделения излучения на два потока, последовательно установленные в одном из них два трехгранных уголковых

20 отражателя, ориентированные основаниями навстречу друг другу, и вершина одного из которых усечена плоскостью, параллельной основанию, и установленный в другом потоке фотоприемник, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, он снабжен третьим и четвертым трехгранными уголковыми отражателями, последовательно установленными в потоке излучения, проходящего через светоделитель, и ориентированными основаниями навстречу друг к другу, а вершина третьего отражателя усечена плоскостью, параллельной основанию.