Способ изготовления мембран для дифференциальных датчиков давления

Патент 139112

Авторы

• Карягин Н.С.
• Родин А.Г.
• Тимофеев Е.А.

---

Классы МПК

• G01L19 - Элементы конструкции и принадлежности к устройствам для измерения постоянного или медленно меняющегося давления газообразных и жидких веществ или сыпучих материалов
• G01L13/02 - с помощью упруго деформируемых элементов или поршней в качестве чувствительных элементов