Устройство для контроля комплексной функции пропускания объективов

Устройство для контроля комплексной функции пропускания объективов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к (шт1гческому приборостроению и позволяет повысить точность контроля комплексной функции пропускания. В плоскости входного зрачка контролируемого объектива 7 объективом 3 изображается освещенная точечная диафрагма 2. Для расчета комплексной функцяи npoiivrKR- ния объектива 7 излучение освет1Г Сля 1проходит на тест-объект 5 сначала через матовую пластину 4, кот( затем вьгоодится из хода лучей. Прошедшее через анализатор 8, ньтолненный в виде непрозрачного экрана с двумя точечш-.1ми отверстияг и, излучение преобразуется фотопрнемниклми 9 в электрические сигналы, поступаюгцш в регистратор 10. Тест-объект 5 выполнен в виде стеклянной прозрачной пластинки с центральньм непрозрачньм экраном Первое отверстие экрана анализатора 8 выполнено на оптической оси устр-ва, а второе - вне ее. 2ил. ( (Л

С01ОЗ СОВЕТСНИХ

СО1.1ИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (я) 4 С 01 М 11/02

Г

aCrr.Ä>-,„, ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMV CENQETEllbCTB Y

1З„" ц

<>KJl3fI Т» .

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21 ) 41 35721/24-10 (22) 20.10.86 (46) 30.04.88. Бил.М 16 (72) И.В.Черных (53) 535.818.8(088.8) (56) Proc. of SPIE, 1970, ч.8, М 6, р.213-223.

Коломийцов К1.В. Интерферометры.

Л.: Машиностроение, 1976, с.245. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ КО1П1ЛЕКСНОЙ ФУНКЦИИ IIPOIIYCKAHHH ОБЪЕКТИВОВ (57) Изобретение относится к оптичес-. кому приборостроенко и позволяет повысить точность контроля комплексной функции пропускания. В плоскости входного зрачка контролируемого объектива 7 объективом 3 изображается

„.SU„„È9.2420 А 1 освещенная точечная диафрагма 2, Для расчета комплексной функции прои ..с кзния объектива 7 излучение осветителя

1 проходит на тест †объе 5 сначал» через матовуж пластину 4, которая затем выводится из хода лучей. Ilpoшедшее через анализатор 8, выполненный в виде непроэрачногo .экрана с двумя точечными отверстия> и, излучение преобразуется фотоприемниками 9 в электрические сигналы, посTóïë&ùèå в регистратор 10. Тест-объект 5 выполнен в виде стеклянной прозрачной пластинки с центральным непрозрачным экраном. 11ервое отверстие экрана анализатора 8 выполнено на оптичес<О кой оси устр — ва, а второе — вне ее.

2 ил.

139?4?О движения диа— фра гма 2 (д)иг °

1) изображается в плоскости (hx hy ) е 7 (() х Ь ) комплексная функция пропускания опти- З5 ческой системы; координаты подвижной диафрагмы;

40 к оо рд ина ты в плоскости изобhxhy

Х,у ражения тестобъекта; координаты в 45 плоскости

Х =hxV, Y =hy V входного зрачка контролируемой оптичес-. кой системы; увеличение, с которым поq(x,„,Y,, ) =

I„(Xos Уд ) Хл I (Xa ж )

«п о э о + 1 — — — J.

q(X <,Уд j =- агссов,

Целью изобретения является повышение точности контроля комплексной функции пропускания оптических систем.

На фиг.l представлена принципиальная схема устройства для контроля оптических систем при работе последних с бесконечного расстояния до объекта изображения; на фиг.? — то же, с конечного расстояния до объекта изображения.

Распределение освещенности В, в изображении тест-объекта в отсутствии матовой пластинки (фиг.l)

20 случай когерентного освещения тестобъекта, пропорционально следующему выражению:

В,(Х, Y, hx, hy) f(q(hxhy)(+

+ (А(Х., ) I -20 (!achy)A(X< У) ° cos ° (q(QY) + -(xhx + Yhy) — y(hxrhy))7 q (1)

a(X у)е Ю Л) JJ I „» ) Лх Ьу! ЭО

-> T (xh„+Yh>))) 1 dl) xdhy (2) входного зрачка контролируемой оптической системы 7. !!оложение отверстий анализатора выбрано таким образом, чтобы координаты одного из них Х,=Y =0 и координаты второго Х и У, удовлетворяют условию

А(/х/ w Хг/Y/ Y ) = О, где А(Х,Y) — модуль комплексной функции размытие контролируемой оптической системы. функция А(Х,Х) — убывающая функ" ция. В этом случае величины сигналов

Х ц и Х,г, снимаемых с фотоприемников, пропорциональны следующим выражениям:

Х „(, С, (q(hxhy)(+

X o6 „

2 с

+ )А(О, 01 ) J — 2q(hxhy) A(0, О) cos Pep(O,0)— (ы )Я; (з) Х (---) с /q(hxhy)/ где С, — коэффициент пропорциональносТие

Распределение освещенности В (X,Х) в изображении тест-объекта в присутствии матовой пластинки — случай некогерентного освещения тест-объекта, пропорционально следующему выражению:

В, (Х,Y) (1 — )!А((Х,У)((4) а сигналы с фотоприемников I u I г) гг

Хд, = С (1 — А(0,0)/ j

Х„ = О„ где Сг — коэффициент пропорциональности.

Из выражений (3) и (5) следует выражение для определения модуля и фазы комплексной функции пропускания:

l 39?420

Формула изобретения

Составитель Е. Лыкашева

Редактор Л.Повхян Техред М.Дидык Корректор Н, Король

Заказ l804/46 Тираж 847 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Проиэно 1c TB )

Устройство для контроля комплексной функции пропускания объектинов, содержащее последовательно установленные перед контролируемым объекти- 29 вом осветитель, точечную диафрагму, выполненную с воэможностью перемещения н плоскости, периепликулпрной оптической оси, первый обьектив, тест-объект, второй объектив, я зя

KoHтролируемым объективом — фотоприемник и регистратор, о т л и ч а ю—

tq е е с я тем, что, с целью повышения точности контроля, перед тестобъектом размещена матовая стеклянная пластина, ныполненная с воэможностью вывода ее из хода лучей, тест-объект выполнен в виде стеклянной прозрачной пластинки с центральным непрозрачным экраном, введен анализатор, выполненный в виде непрозрачного экрана с двумя точечными отверстиями, размещенного н плоскости иэображения тестобъекта причем первое отверстие вы1 полнено на оптической оси, а второе вне оси, а зя непрозрачным экраном эа отнерстиями установлены дна фотоприемника.