Многопучковый высоковакуумный газоразрядный насос

Патент 139375

Авторы

• Рейхрудель Э.М.
• Смирницкая Г.В.

---

Классы МПК

• H01J41/20 - с использованием газопоглотительных сорбционных материалов, т.е. геттеров