Устройство для автоматической компенсации температурной погрешности при измерениях толщины покрытий с помощью бета- толщиномеров

Патент 139452

Авторы

• Богачев А.М.
• Рубинштейн Л.А.

---

Классы МПК

• G01B15/02 - для измерения толщины
• G01D3/028 - уменьшение нежелательных воздействий, например температуры, давления