Автоматическая гальваническая линия

Автоматическая гальваническая линия

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к области нанесения гальванических покрытий для изготовления плат тонкопленочных микрбсборок. Цель изобретения - повышение качества покрытий. После за кладки заготовок в кассету она устанавливается на устройство разгрузки. Затем заготовки по одной выводятся из кассеты и транспортером переносят- :ся к центрифуге рабочей позиции. При этом ванна находится в нижнем положении . После установки заготовки на стол центрифуги ванна поднимается, а ветви транспортера раздвигаются в стороны от рабочей позиции. Стержень, находящийся в многоЛакельной форсунке , под действием пружины прокальшает слой Аоторезиста на заготовке и подает на нее отрицательньт потенциал. Центрифуга начинает вращаться,одновременно по каналу подается электролит в многофакельную форсунку. Электро. лит, с большой скоростью перемещается по поверхности заготовки и сбрасьгоается с ней центробежными силами. Отработанный электролит через фильтрующее устройство поступает в бак. После определенного времени обработки ванна опускается, ветви транспортеров сходятся и заготовки последовйтельно транспортируются в устройство загрузки в кассеты. Компоновка данной линии позволяет значительно интенсифицировать процесс металлизации , повысить качество гальванопо крытий за счет полной автоматизации процесса. 3 з.п. ф-лы, 6 ил. с: (f, С СП 05 СО jik

COl03 СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (1) 1 С 25 Э 19/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К д ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21} 4149489/23-02 (22} 21 ° 11 ° 86 (46) 15.05.88. Бюл. У 18 (72} Д.И.Лившиц, А.В.Максимчук, А.А.Бессонный, В.А.Газецкий и С.М.Вилинский (53} 621.357.7:035(088.8} (56} Авторское свидетельство СССР

У 723808, кл. С 25 D 19/00, 1980.

Информационный листок У 428-83.

Горьковский межотраслевой территориальный центр научно-технической информации и пропаганды, 1983. (54) АВТОМАТИЧЕСКАЯ ГАЛЬВАНИЧЕСКАЯ

ЛИНИЯ (57) Изобретение относится к области нанесения гальванических покрытий для изготовления плат тонкопленочных микросборок. Цель изобретения - iroвышение качества покрытий. После закладки заготовок в кассету она устанавливается на устройство разгрузки.

Затем заготовки по одной выводятся из кассеты и транспортером переносят,ся к центрифуге рабочей позиции. При этом ванна находится в нижнем положе„„SU„„13956 4 А1 нии. После установки заготовки на стол центрифуги ванна поднимается, а ветви транспортера раздвигаются в стороны от рабочей позиции, Стержень, находящийся в многофакельной форсунке, под действием пружины прокалывает слой Аоторезиста на заготовке и подает на нее отрицательнъй потенциал, Центрифуга начинает вращаться,одновреI менно по каналу подается электролит в многофакельную форсунку. Электро лит, с большой скоростью перемещается по поверхности заготовки и сбрасывается с ней центробежными силами.

Отработанный электролит через фильтрующее устройство поступает в бак.

После определенного времени обработки ванна опускается, ветви транспортеров сходятся и заготовки последовательно транспортируются в устройство загрузки в кассеты. Компоновка данной линии позволяет значительно интенсифицировать процесс металлизации, повысить качество гальванопо крытий за счет полной автоматизации процесса. 3 э.п. ф-лы, 6 ил.

1395694

Изобретение относится к нанесению гальванических покрытий и мажет быть использовано в технологических комп лексах изготовления плат тонкопленочных микросбарок в условиях многономенклатурного производства или в составе гибких производственных систем для изготовления сверхвысокочас 1отных гибридных интегральных схем, 10

Цель изобретения — повышение качества покрытий.

На фиг.1 изображена гальваническая линия, фронтальная проекция; на, иг.2 — то же, вид в плане; на фиг.3--15 становка гальванических покрытий, вид в плане; на фиг.4 — рабочая по, иция установки гальванических покрыий, осевое сечение; на фиг.5 — устройство удаления отработанных раба их растворов; на фиг.6 — схема устройств загрузки разгрузки кассет.

Автоматическая гальваническая ли4ия содержит расположенные по ходу гехнологическога процесса в блоках 1

Пылеэащиты установки 2 гальванических

Покрытий, отмывки и сушки 3, химоб работки 4, контроля 5, источники 6 пи гания. Установки 2-4 состоят каждая . из двух треков 7 и 8, а каждый иэ треков содержит две рабочих позиции

9 и 10, связанные между собой устрой ствами 11 загрузки кассет 12 и уст ройствами 13 разгрузки кассет, раздвижным транспортером, состоящим из 35 двух ветвей 14 и 15. Рабочие позиции

9 и 10 содержат каждая центрифугу 16 и расположенные соосно ей неподвижный коллектор 17 с устройствами 18 подачи рабочих растворов и вентиляционным4О каналом 19, а также подвижную в верт: тикальной плоскости ванну 20 с устройством 21 удаления рабочих растворов, содержащим фильтр-ловушку 22.

Устройство 21 удаления отработанных 45 рабочих растворов и фильтр-ловушка

22 рабочих позиций отмывки и сушки установки 3 соединены общей магистралью 23 с бакам-отстойником 24. Рабочая позиция установок 2 гальванических покрытий включает многофакельную форсунку 25, по оси которой B опорах 26 качения расположен подпружиненный пружиной 27 стержень 28, соединенный щеткой 29 с источником 55 отрицательного электрического потенциала, а напорная магистраль 23 соединена с источником положительного электрического потенциала. Стержень

28 выполнен с заостренным концом и покрыт химстойким диэлектриком 31, Ванна 20 установлена на кронштейне

32. Заготовка 33 металлизируемой стороной обращена к каналам 34, соединенным с вентиляционным каналом 19.

Каналы 34 выполнены в коллекторе 35, Гайка 36 фиксирует форсунку 25 на корпусе с магистралью 30. Опоры 26 со стержнем 28 помещены в корпус 37.

Устройства 21 удаления обработанных рабочих растворов представляют собой .Г каждое коаксиальные перфорированные трубы 38 и 39, между которыми помещены кольца 40 из фильтровальной бумаги.

Устройство 21, закрепленное на ванне

20, имеет минимальный диаметр по сравнению с трубами 38 и 39, и короче трубы 38 на величину хода ванны 70.

Отверстия 41 перфорации расположены в верхней части трубы 38, фланец которой является крышкой фильтра-ловушки 22. Фильтр-ловушка 22 установлен на кронштейне 42 и трубой 43 связан со сливом. Внутренняя полость трубы

38 герметизирована уплотнениями 44.

Устройство 13 разгрузки кассет 12 включает винт 45 и транспортер 46.

Автоматическая линия работает сле" дующим образом.

Заготовки 33 вкладываются в кассету 12, после чего кассета устанавливается на устройство 13 разгрузки кассет. Заготовки 33 транспортером

46 по одной выводятся из кассеты и ветвью 14 транспортера переносятся к центрифуге 16 рабочей позиции 9. При этом ванна 20 находится в нижнем положении. После установки заготовки

33 на стол центрифуги 16 ванна 20 поднимается, а ветви 14 транспортера раздвигаются в стороны от рабочей позиции.

Работа транспортеров 14 и 15 синхронна. Стержень 28 под действием

> пружины 27 прокалывает слой фоторезиста на. заготовке 33 и подает на нее отрицательный потенциал. Центрифуга

16 начинает вращаться, а стержень

28 вращается в опорах. Одновременно электролит подается по магистрали 30 в многофакельную форсунку 25, подключенную к источнику положительного потенциала. Электролит с большой скоростью перемещается по поверхности заготовки 33 и сбрасывается с нее центрифугированием. Отработанный электролит через устройство 21 попа.! i 19 дает в полость трубы 38, где его уро-вень поднимается через фильтруищие кольца 40 к отверстиям 41 перфорации, стекает в фильтр-ловушку 22 и по трубе 43 подается в бак с насосом.

После этого ванна 20 опускается, ветви 14 и 15 транспортеров сходятся и заготовки транспортируются последовательно с кассеты 12 на позиции 9, с позиции 9 на позиции 10, с позиции

10 в устройство 11 загрузки и в кассеты, где заготовки 33 автоматически загружаится в кассеты 17 ° Заполненные кассеты лередаится на следуищую установку, где обработка ведется в той же последовательности., Каждый трек линии автономен и идентичен другим.

Отработанная моющая жидкость с установок отмывки и сушки по магистрали 23 подается в отстойник 24, где от нее отделяются фильтрованием частицы металла, смытые с заготовки 33.

Бумажные кольца 40 после заполнения осадком удаляются из фильтра-ловушки

22 и сжигаются. Таким образом, соли драгметаллов улавливаются и не теряются в производстве.

Компоновка линии позволяет значительно интенсифицировать процесс металлизации, поднять качество гальванопокрытий за счет полной автоматизации процесса загрузки-разгрузки заготовок и исключения операции крепления заготовок на подвесках.

Формула из обретения

1.Автоматическая гальваническая линия, содержащая расположенные по ходу технологического процесса установки гальванических покрытий, химической обработки, отмывки и сушки, узлы загрузки и разгрузки, устройство для подачи рабочих растворов, вентиляционный канал, источники питания и установки контроля, о т л и ч а ющ а я с я тем, что, с целью повыше5694

5

1О

ЭО

40 ння ка;<-стн» искрt и нй, она снабжена раэдннжньгн1 трансп<.ртсрамн, центрифугами и устанонлен пмн на ннх с возможносты вертикального перемещения ваннамн с устройством для удаления отработанных растворов с фильтром-ловушкой, при этом каждая гальваническая установка выполнена в виде двухтрековой системы, в которой каждый трек состоит иэ двух, связанных между собой раздвижным транспортером, рабочих позиций, содержащих центрифугу, устройство для подачи рабоп х растворов v вентиляционный канал, узел разгрузки кассет размещен в начале каждого трека, а узел загрузки кассет — в конце каждого трека.

2.Линия по п.1, о т л и ч а ю— щ а я с я тем, что устройство для подачи рабочих растворов выполнено в виде неподвижного коллектора, расположенного соосно центрифуге и многофакельной форсунке, по оси которой размещен в опорах качения подпружиненHbN стержень с заостренным концом, соединенный. с отрицательным полисом источника питания, а напорная магистраль форсунки — с положительным полюсом.

З.Линия по пп.! и 2, о т л и— ч а ю щ а я с я тем, что устройство удаления отработанных рабочих растворов выполнено в виде коаксиальных перфорированных труб, между которыми размещены кольца из фильтровальной бумаги, причем труба, закрепленная на ванне меньшего диаметра, короче последующей на величину хода ванны, а фильтровальные кольца закреплены на верхней крьппке устройства.

4.Линия по пп.!-3, о т л и ч а ю— щ а я с я тем, что она снабжена баком-отстойником, соединенным общей магистралью с устройствами для удаления отработанных растворов рабочих позиций, отмывки и сушки.!

395б94

7З

1395694 и

11

1395r94

Составитепь В.Комраков

Техред N. Дидык Корректор В,Гирняк

Редактор Т,Назоренко

Тираж б19

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий.

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 2470/28

Подписное

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4