Устройство для нанесения полупроводникового слоя и подформовки анодов конденсаторов

Устройство для нанесения полупроводникового слоя и подформовки анодов конденсаторов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к радиотехнике . Устройство для нанесения полупровод1шкового слоя подформовки анодов конденсаторов содержит транспортирующий механизм в виде вертикально замкнутого конвейера (ВЗК) с кассетами 2, ванны 3-6 пропитки, печи. 7,8 пиролиза, установленные на горизонтальных ветвях ВЗК 1, и печи 9,10 пиролиза, установленные на его вертикальных ветвях, ванны 11 поформовки. Каждая кассета вьшолнена в виде рамки с пазами в боковых стенках и направляющей планкой, взаимодействующей с плоскими копирами 20 транспортирующего механизма для поворота кассеты 2 в нужное положение в процессе работы. Устройство высокопроизводительно . 14 ил. с (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК ((9) SU (II) А1 (50 4 Н 01 С 13/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

М А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 2 2 20

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4043289/24-2 1 (22) 25.03.86 (46) 23.05.88. Бюл. 1» 19 (72) Б,И. Марченко, Е.Е. Нестерова, В.Х. Куфман, Т.С. Черкашина и И.Д. 1дтеренберг (53) 621.319.4(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 452044, кл . Н 01 r, 13/00, 03.07.72.

Авторское свидетельство СССР

h» 951436, кл. Н 01 G 13/00, (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО СЛОЯ ПОДФОРИОВКИ

АНОДОВ КОНДЕНСАТОРОВ (57) Изобретение относится к радиотехнике. Устройство для нанесения полупроводникового слоя подформовки анодов конденсаторов содержит транспортирующий механизм в виде вертикально замкнутого конвейера (B3K) с кассетами 2, ванны 3-6 пропитки, печи 7,8 пиролиза, установленные на горизонтальных ветвях ВЗК 1, и печи

9, 10 пиролиза, установленные íà его вертикальных ветвях, ванны 11 поформовки. Каждая кассета выполнена в виде рамки с пазами в боковых стенках и нзлравляющей планкой, взаимодействующей с плоскими копирами 20 транспортирующего механизма для поворота кассеты 2 в нужное положение в процессе работы. Устройство высокопроизводительно. 14 ил.

1397981

Формулаизобретения

Устройство для нанесения полупроводникового слоя и подАормовки анодов конденсаторов, содержанее транспортирующий механизм в виде вертикально замкнутого конвейера с кассетами, ванны для рабочего раствора, установленные на верхней ветви конвейера и печи пиролиэа, установленные на верхней и нижней ветвях конвейера, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности и улучшения качества изделий, оно снабжено дополнительными печами пиролиза, установленными на вертикальных ветвях конвейера и дополнительными ваннами для рабочего раствора, установленными на верхней и нижней ветвях конвейера попарно с основными ваннами с двух сторон каждой печи пиролиза по ходу перемещения конвейера, транспортирующий

10 механизм снабжен плоскими копирами, установленными неподвижно, à каждая кассета снабжена направляющей планкой, установленной с воэможностью взаимодействия с плоскими копирами

15 транспортирующ го механизма.

I 397 98) 1397981

Фиг.E

1397981

1 397981

Щ

Д

РигЯ, 79

11

„г

ФИГ 1Д

139798I

В-8

Фиг.13

Фиг. 13

Составитель Г. Падучин

Техред Л.Олийнык Корректор И. Иуска

Редактор Л. Гратилло

Заказ 2603/51

Тирам 746

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб. ° д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Укгород, ул. Проектная, 4