Электрогравировальная машина
Патент 139951
Авторы
Классы МПК
- G03F7/02 - Фотомеханическое, например фотолитографическое, изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например печатные поверхности; материалы для этих целей, например содержащие фоторезисты; устройства, специально приспособленные для этих целей (использующие фоторезистные структуры для специальных процессов см. соответствующие подклассы, например B44C,H01L, а также рубрики, например H01L 21/00,H05K)
- B41C1/02 - гравированием; головки для этой цели (запись на носители информации, головки для этой цели G11B)
- G03B27/34 - средства автоматической фокусировки для них (системы для автоматического генерирования сигналов фокусировки G02B 7/28; средства для автоматической фокусировки при фотомеханическом изготовлении G03F 7/207)
