Способ изготовления тензорезисторных мембранных датчиков давления

Способ изготовления тензорезисторных мембранных датчиков давления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - уменьшение нелинейности характеристик датчика. Устанавливают упругий элемент 1 с транзисторами 2 в корпус 3 и закрепляют его с начальной осевой деформацией. Определяют нелинейность градуировочной характеристики. Регулировку производят вращением втулки 5. Экспериментально установлено , что для измерения нелинейности датчика на 1 % начальную осевую деформацию надо увеличить или уменьшить на (0,7-2,0)-10 г - радиус мембраны 4 мм. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (gg y G 01 Ь 9/04

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ СЕ®уц

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЙ " -:, 13

Н А ВТОРСНОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3919180/24-10

{22) 01.06.85 (46) 07.07.88. Бюл. В 25 (72) В.А.Тихоненков, А.И.Тихонов, A.È.Æó÷ê0â и В.А.Зиновьев (53) 531.787 (088.8) (56) Приборы и системы управления, 1978, И б, с.22.

Авторское свидетельство СССР

У 532023, кл. r. 01 L 9/04, 1976. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫХ МЕМБРАННЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ

{57) Изобретение относится к измери„„SU„„ I 408261 A 1 тельной технике. Цель изобретения— уменьшение нелинейности характеристик датчика. Устанавливают упругий элемент 1 с транзисторами 2 в корпус

3 и закрепляют е о с начальной осевой деформацией. Определяют нелинейность градуировочной характеристики.

Регулировку производят вращением втулки 5. Экспериментально установлено, что для измерения нелинейности датчика на 1Х начальную осевую дефор мацию надо увеличить или уменьшить на (0,7-2,0) 10, r,где r — радиус мембраны 4 мм. 2 ил.

1408261

Способ относится к измерительной ехнике, а именно к тензорезисторным атчикам давления с мостовой иэмериельной цепью.

Цель изобретения — уменьшение не"

5 пинейности характеристики датчика три положительном ее значении.

На фиг.1 показан тензодатчик; а фиг. 2 — график упругих характе-: истик мембраны при различных велиинах начального натяжения (осевой еформации).

Изменением начального натяга мемб- 15 аны можно получить такое значение е нелинейности, которое компенсирут нелинейность, обусловленную упруим элементом, тензорезистором, измеительным мостом и т.д. (фиг.2). 20

Сущность способа заключается в едующем. устанавливают упругий элемент тенэорезисторами 2 в корпус 3 и акрепляют его с начальной осевой 25 еформацией.

Определяют нелинейность градуироочной характеристики. При положительом значении нелинейности уменьшают ачальное натяжение мембраны 4 30 осевую деформацию упругого элемента) ак, чтобы нелинейность мембраны тала обратной величине нелинейности атчика.

Регулировку производят вращением втулки 5. В этом случае нелинейность датчика равна нулю.

Экспериментально установлено, что для изменения нелинейности датчика на 1 начальную осевую деформацию ась надо увеличивать или уменьшать на (0,7-2,0) ° 10 . r, где r — радиус мембраны, мм.

Полученное соотношение позволяет повысить точность регулировки характеристики, а использование способа позволяет уменьшить нелинейность датчика практически до нулевого значения.

Формула изобретения

Способ изготовления тензорезисторных мембранных датчиков давления заключающийся в установке упругого элемента с тензорезисторами. в корпус. закреплении его с начальной осевой деформацией и.определении градуировочной характеристики, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью уменьшения нелинейности градуировочной характеристики при положительном ее значении, осевую деформацию упругого элемента уменьшают, а при отрицательном увеличивают, рассчитывая деформацию йса на 1 нелинейности по соотношению

bed = (0,7-2,0) 10 . r где r — радиус мембраны.

1408261

Я

10

ИО 1М0

1570 2000 2300

Риа2

Составитель О.Слюсарев

Техред Л.Олийнык Корректор М.П!ароши

Редактор А.Козориз

Заказ 3301/43

Тираж 847 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

i)3035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4