Способ производства сплавных диффузионных триодов

Способ производства сплавных диффузионных триодов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Класс 21; 11в;

Ло 14„614

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Лодп и сная гр уппа. М 97

А. Е. Лихтман, М. М. Самохвалов, А. И. Татаренков и А. A. Чернявский

СПОСОБ ПРОИЗВОДСТВА ВПЛАВНЫХ ДИФФУЗИОННЪ|Х

ТРИОДОВ

Заявлено 16 февраля 1960 т. зз Ме 654796 26 в Комитет во аслам изобретении и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретеии11» М 17 за 1961 г.

Известные способы производства вплавных диффузионных триодов с использованием шаблонов основаны на ручном выполнении ряда трудоемких операций, основными из которых являются нанесение слоя сурьмы и эмиттерного сплава на пластины полупроводникового кристалIа, осуществляемое путем надевания их на острие иглы и опускания в нужное место кристалла при беспрестанном наблюдении в микроскоп.

Кроме быстрой утомляемости оператора и невозможности произвести точное дозирование количества сурьмы и эмиттерного сплава, соединительный слой базы в переходах получается низкого качества.

Предлагаемый способ отличается тем, что создание соединительного слоя базы в переходах получается загрузкой мслкодисперсного порошка сурьмы в лунки или отверстия шаблона с дозированиеM количества сурьмы путем изменения размеров лунок или отверстий шаблона.

Нанесенную сурьму выплавляют непосредственно пз шаблона на пластину полупроводника с последующей возгонкой вплавленной сурьмы.

Это отличие позволило значительно упростить технологию производства триодов и механизировать ряд ручных операций.

На чертеже приведено разъемное приспособление, используемое для осуществления предлагаемого способа.

Предварительно протравленная и луженая с одной стороны пластинка 1 из полупроводникового материала (германия или кремния) закрепляется на базовой подкладке 2, выполненной, например. в виде кварцевого параллелепипеда. Крепление полупроводниковой пластины может производиться за счет ее припайки к двум никелевым штырьками.

Затем подкладка вместе с пластиной вставляется в молибденовую кассету 4. где фиксируется плоскими пружинами 5 и 6. Кассета имеет два штыря 7 для фиксации с- соответствующими отверстиями шаблона 8.

Шаблон изготовляется из слюды или кварца и имеет сквозные отвер№ !449!4

Иредмег изобретения

Способ производства вплавных диффузионных триодов с использованием шаблонов, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии производства триодов, для создания соединительного слоя базы в переходах загружают мелкодисперсный порошок сурьмы в лунки или отверстия шаблона, дозируя количество сурьмы изменением размера лунок или отверстий шаблона, выплавляют сурьму непосредственно из шаблона на пластину германия, после чего производят возгонку вплавленной сурьмы.

Составитель В. Г. Гуфельд

Коррскгор Г. Кудрявцева

Обьсм О,!8 пад л.

Цена 4 коп

Гсx!)с А. Л. Камышипкова

1 едакто1) И С, Кутафина

1.! одп. к печ. 14.х-б! г. .1ак. !О!оп с(эорм;,: б! и 7(! !)Н;1п 1 пра к !2;;!!

ЦАЙТ!! при Комитенте по делам изобретеиий и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Цсптр, М. е1сркасский пер., д. 216.

Типография ЦБТИ Коми ста по делам изобретений и открытий прll Совет Мпп п-;! o«СССР. Москва, Г1стропкд, ! стия 9 или лунки, в которые после закрепления шаблона на кассете винтами 10 загружают мелкодисперсный порошок сурьмы. Количество сурьмы определяется размерами лунок или отверстиями шаблона. Выплавление сурьмы на полупроводниковую пластину осуществляется непосредственно из шаблона при температуре 650 в водородной печи. Затем шаблон снимается и производится возгонка вплавленной сурьмы при температуре 670 в течение 1О мин.

Нанесение эмиттерного сплава осуществляется аналогичным образом. Вновь надевается шаблон с сеткой, в отверстия которой засыпаются шарики эмиттерного сплава с последующим вплавлением и диффузией.

Предлагаемый способ найдет широкое применение на предприятиях радиоэлектронной промышленности при изготовлении вплавных диффузионных триодов.