Способ определения газопроницаемости вакуумного покрытия

Способ определения газопроницаемости вакуумного покрытия

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к те.хнологии оптического приборостроения и может быть использовано в качестве метода контроля и исследования свойств вакуумных покрытий на подложках из стекла. Цель - измерение газопроницае.мости тонкого вакуумного покрытия . На подложку наносят покрытие из пористого стекла, а затем непрерывно взвешивают и определяют газопроницаемость покрытия по изменению массы подложки.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

15@ 4 G Ol lii 7!00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3800813/23-26 (22) 11.10.84 (46) 23.07.88. Бюл. № 27 (72) В. А. Толмачев, М. А. Окатов и Н. В. Малько (53) 546.17 (088.8) (56) Ничуговский А. В. Определение влажности химических веществ. Л.: Химия, 1975, с. 149.

ÄÄSUÄÄ 1411642 А 1 (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ГАЗОПРОНИЦАЕМОСТИ ВАКУУМНОГО ПОКРЪ|ТИЯ (57) Изобретение относится к технологии оптического приборостроения и может быть использовано в качестве метода контроля и исследования свойств вакуумных покрытий на подложках из стекла. Цель — измерение газопроницаемости тонкого вакуумного покрытия. На подложку наносят покрытие из пористого стекла, а затем непрерывно взвешивают и определяют газопроницаемость покрытия по изменению массы подложки.

1411642

Формула изобретения

Составитель С.Киселев

Редактор А. Ворович Техред И. Верес Корректор М. Шароши

Заказ 3647 39 Тираж 847 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

1 i 3035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к технологии оптического приборостроений и может быть ,использовано в качестве метода контроля ,:свойств вакуумных покрытий.

Цель изобретения — измерение газопроницаемости тонких пленок.

Пример. На полированную подложку из

: пористого стекла Д — IM в виде диска

1, ф 18,5 мм и d=0,43 мм наносят покрытие . Ti0 а гидролизом паров TiCl. Затем подложку с покрытием на тонкой калиброванной спиральной пружине (чувствительностью 2,54 мг/мм) помещают в трубку, которую термостатируют при Т =20,0+0,1 С.

Затем в этой трубке создают постоянное давление паров воды (17,54 мм рт. ст.) и проводят непрерывный отсчет изменения положения образца (Ь + 0,02 мм) и времени взвешивания (+1 с). Результаты эксперимента изображают в координатах m/$ =

= f (t), рассчитывают (dm/dt)/$ и Ь (dm/

/dé ) /S. Проницаемость данного покрытия составила Р=0,007 0,006, Измерения потребовали 2 ч (исключая время нанесения покрытия) .

Способ определения газопроницаемости вакуумного покрытия, заключающийся в регистрации поличества поглощенного газа, прошедшего через покрытие, по изменению массы поглощающего элемента и расчета по этому изменению газопроницаемости, отличаюи4ийся тем, что, с целью измерения газопроницаемости тонких пленок, пленку наносят непосредственно на поглощающий элемент, а в качестве поглощающего элемента используют пористое стекло,