Измеритель комплексного сопротивления
Иллюстрации
Показать всеРеферат
Изобретение может быть использовано , в частности, для измерения электрофизических параметров полупроводниковых материалов. Измеритель комплексного сопротивления содержит дифференциальный усилитель 8, выпрямители 4, 6, блок 5 вьщеления переменной направляющей, преобразователь 3 ток - напряжение, фильтр 7 и источник 1 периодических сигналов, выполненный в виде генератора напряжения прямоугольной формы в случае индуктивного характера реактивной составляющей комплексного сопротивления. Измеритель имеет расширенные функциональные возможности. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН
„Л0„„141 55
А2 цв 4 G 01 R 27/00
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ABTOPCHOMY CENQETEJlbCTBV
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
flO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPblTHA (61) 1310744 (21) 4147155/24-21 (22) 14.11.86 (46) 30.07.88. Бюл. Ф 28 (71) Белорусский политехнический институт (72) О.С. Васьков, Д.С. Доманевский и Ю.И. Зинкевич (53) 621.317.3(088.8) (56) Патент США В 4426616, кл. С 01 R 27/00, 1974.
Авторское свидетельство СССР
Ф 1310744, кл. G 01 R 27/00, 1985. (54) ИЗМЕРИТЕЛЬ КОМПЛЕКСНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ (57) Изобретение может быть использовано, в .частности, для измерения электрофизических параметров полупроводниковых материалов. Измеритель комплексного сопротивления содержит дифференциальный усилитель 8, выпрямители 4, 6, блок 5 выделения переменной направляющей, преобразователь
3 ток — напряжение, фильтр 7 и источник 1 периодических сигналов, выполненный в виде генератора напряжения прямоугольной формы в случае индуктивного характера реактивной составляющей комплексного сопротивления. Измеритель имеет расширенные функциональные возможности, 1 з.п. ф-лы, 3 ил.
1413550
Изобретение относится к электроизмерительной технике и может быть использовано для измерения активной и реактивной составляющих комплексно5 го сопротивления, в частности для измерения электрофизических параметров полупроводниковых материалов.
Цель изобретения — расширение функциональных возможностей измерителя путем обеспечения возможности измерения реактивной составляющей комплексного сопротивления.
На фиг. 1 представлена функциональная схема предлагаемого измери-. теля; на фиг. 2 и 3 — временные диаграммы, поясняющие его работу.
Измеритель комплексного сопротивления содержит последовательно соединенные источник 1 периодических zp сигналов, измеряемый объект 2 в виде комплексного сопротивления, схема которого представляет собой параллельно соединенные сопротивление и емкость
С (а) или сопротивление и индуктив- 25 ность (F), преобразователь.З ток— напряжение первый выпрямитель 4,блок
5 выделения переменной составляющей, второй выпрямитель 4, блок 5 вьщеленя переменной составляющей, второй 3р выпрямитель б и фильтр 7, а также дифференциальный усилитель 8, неинвертирующий вход которого соединен с выходом первого выпрямителя, а инвертирующий вход — с выходом схемы выделения переменной составляющей, вы35 ход дифференциального усилителя соединен с выходом II устройства, а выход фильтра — с выходом I, Возможны два варианта работы устройства.
Вариант a . Измеряемый объект 2 представляет собой параллельно соединенные сопротивление К и емкость С.
Сигнал треугольной формы U, амплитудой А и периодом Т (фиг. 2. 1)
45 (а(с — Т/4), 0 t < — э
Т
U о (1)
-<(t — ЗТ/4), т/2 t Т
4А 5Р где й. =—
Т функция (), () — кусочно-гладкая, не- прерывная и продолжается на всю временную ось с периодом Т, сигнал У поступает от источника 1 периодичес55 ких сигналов на вход преобразователя
3 ток — напряжение через измеряемый объект 2.
Полный ток преобразователя, представляющего собой усилитель с резистором К н цепи обратной связи и инвертор, равен сумме активной
U dU
R — и реактивной С вЂ составляющих.
dt
На выходе преобразователя будет изменяющийся с периодом Т сигнал Ц (фиг. 2. 2): о К (t-Т/4)+,Я.С, О С «Т/2
Rññ Rо (2) (Г-ЗТ/4)-о К С, Т/2 t r
U =
Первый выпрямитель 4, выполненный по двухполупериодной схеме, формирует сигнал U (фиг. 2.3) с периодом Т/2.
Величина этого сигнала определяется модулем U при условии, что величина амплитудного значения I I< которое выполняется при RC Т/4:
U, = fU, j - „ (t — Т/4)+
Т
2 (3) где о R,С вЂ” величина постоянная, не зависящая от
На выходе блока 5 выделения пере-, менной составляющей, который может быть выполнен, например, в виде конденсатора, не передающего постоянную составляющую входного сигнала, будет сигнал U (фиг. 2.4):
V ç ((t Т/4), О е Т/Z, (4) Функция U (t) — кусочно-гладкая, непрерывная и продолжается периодически с периодом Т/2. Значение U5 пропорционально измеряемому сопротивлению и не зависит от емкости.Это напряжение подается на второй выпрямитель б, на выходе которого будет сигнал U4 (фиг. 2.5.), повторяющийся с периодом Т/2: — — (с — Т/4) 0 «й t Т/4
U -(v f= (5)
R (t — Т/4) Т/4 t Т/2
С помощью последовательно включенного фильтра 7 нижних частот формируется вреднее значение этого напряжения U< U+ (фиг. 2.6.): т!т т!+ 1) ()Д = — (t-Т/4)а
2 (2 gk р Т,) 4 Т К
1413550
i ФКо ЛК.
Ц ав
8R 2R (6) (10) 0 t Т/2.
U =* 0 =
0 t(T/2
4 (8)
Т/2 t Т
А;
U о
Б АК Т/8K и, - — J U,(r)ac +
Ro
1. — A(t-Ò/4) + — A;
Ro R
L R — U (t)
Re
К . Т
0c ti—
2 1 и Ко (t — Т/4)dt
Т 1 К
О
На выходе I устройства, который является выходом фильтра:
Зто напряжение, пропорциональное измеряемому сопротивлению, — величина постоянная и может быть измерено вольтметром постоянного тока.
Для измерения емкостной составлякицей на неинвертирующий вход дифференциального усилителя 8 подается сигнал U с выхода первого выпрями2 теля, а на инвертирующий вход — сигнал U> с выхода блока выделения переменной составляющей. На выходе дифференциального усилителя, являющемся выходом II устройства, будет . сигнал
U, = m(U, — U,), (7) где m — дифференциальный коэффициент усиления.
На выходе II с учетом (1) и (7) будет постоянное напряжение U
4Am
= ш Ф.К,С = К,С, пропорциональное измеряемой емкости, которое может быть измерено любым вольтметром постоянного тока.
Вариант 3 . Измеряемый объект 2 представляет собой параллельно соединенные индуктивность L и сопротивление R.
Сигнал прямоугольной формы U амплитудой А и периодом Т (фиг.3.1.) поступает от источника 1 периодических сигналов на вход преобразователя
3 через измеряемый объект 2.
Сигнал на выходе преобразователя
U< (фиг. 3.2.) представляет собой сумму активной и реактивной составляющих; — A(t-3Ò/4) — — А; — аt T
-Rî Ro Т
L R 2, Первый выпрямитель 4, выполненный по двухполупериодной схеме, формирует сигнал Uz (фиг. 3,3) с периодом Т/2, Величина этого сигнала определяется модулем U при условии, что величина амплитудного значения Uz Бк, которое выполняется при RC 5 Т/4:
1О U = jU<(= -"" А(-Т/4)+ — Л, На 5 выделения пере15 менной составляющей будет сигнал U> (фиг. 3.4.): (t †) 0 c t (— ° (11) R,A Т Т
Э L 4 2
20 Функция U — кусочно-гладкая, непрерывная и продолжается периодически с периодом Т/2.
Значение U пропорционально измен ряемому значению индуктивности и от
25 сопротивления на зависит.
Зто напряжение подается на второй выпрямитель 6, на выходе которого будет сигнал U (фиг. 3.5), повторяющийся с периодом Т/2: A(t-Т/4), 0 с t Т/4 (12) — оА(-Т/4), Т/4 t Т/2 .
Сигнал U на выходе фильтра 7 ниж35 них частот равен среднему значению
04 (фиг. 3,6):
Т)4 — — (t) dt-- ) — A(t-Т/4) dt+
4О + — J — A(t-T/4)dt. (13) т 1 1.
На выходе I устройства, являющемся выходом фильтра, будет сигнал
На выходе II который является выходом дифференциального усилителя Я, будет сигнал U (фиг. 3.7), пропор5О циональньЯ измеряемому сопротивлению
U = m(U — U ) mA — (14)
Ro
6 2 R который также может быть измерен любым вольтметром постоянного тока.
Формула из о брет ения ! (1. Измеритель комплексногo coTlpo» тивления по авт.св. Ф 1310744, о т—
14! и, 2.7 л и ч а ю шийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей путем обеспечения возможности измерения реактивной составляющей комплексного сопротивления, в него введен дифференциальный усилитель, неинвертирующий вход которого соединен с выходом первого выпрямителя, инвертирующий вход соединен с выходом блока выделения переменной
3550 ь составляющей, а выход дифференциального усилителя соединен с выходной клеммой измерителя.
2. Измеритель по и.1 о т л и° ° ° ч а ю шийся тем, что в случае индуктивного характера реактивной составляющей комплексного сопротивления источник периодического сигнала выполнен в виде генератора напряжения прямоугольной формы.
1413550
З.2
3.3 0 /3
34 0
35 О
0у
З.S 0
Ug х 0
Составитель И. Козлов
Техред А.Кравчук
Корректор Н. Король
I
Подписное
Редактор Ю. Петрушко
Тираж 772
Заказ 4451
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-ÇS, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, r, Умгор д, у . р о л. П оектная 4