Способ получения нейтральных фильтров

Способ получения нейтральных фильтров

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

С010З СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (51) 4 С 03 С 17 ОЬ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 41 72464/29-33

f (22) 04. 01. 87 (46) 23.08.88. Бюл. Р 31 (71) Белорусское республиканское научно-производственное объединение порошковой металлургии (72) Г.Д. Карпенко, М.А. Андреев, M.Ï. Гундилович, В.В. Лавский и Л.А. Соловянчик (53) 666.1.056(088.8) (56) Фильтры нейтральные, РТМ 3-651-75, 1975.

Установка вакуумная. Модель ВУ-ХА.

Паспорт, альбом У 1, 1975.

„„80„„1418306 А 1 (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НЕЙТРАЛЬНЫХ

ФИЛЬТРОВ (57) Изобретение относится к оптике и может быть использовано для получения нейтральных фильтров. С целью уменьшения времени термообработки термообработку после нанесения на подложку пленки металла проводят в ионизированной кислородсодержащей среде тлеющего разряда с удельной мощностью 2,0-10,0 Вт/см и давлекием кислородсодержащего газа 1 10

5 мм рт.ст. в течение 15-20 мин. Время термообработки уменьшается в Ь— ,8 раз. 1 табл.

i4i8ЗМ.

Давление Удельная газа, мощность, мм.рт.ст. Вт/см

Пропускание, %

Время обработ ки, мин

Исходный материал

Способ

Известный

Предлагаемый

120

71

10,0.

60

?

71

2,0

60

Изобретение относится к оптике и может быть использовано для получения нейтральных фильтров.

Цель изобретения — уменьшение времени термообработки.

Термообработка в ионизированной кислородсодержащей среде тлеющего разряда, как и термообработка путем нагрева, приводит к образованию на поверхности металла защитной пленки из оксида металла толщиной 5-15 нм.Окисная пленка на поверхности металла предотвращает металл от дальнейшего окисления на воздухе, улучшает механическую прочность покрытия, а также увеличивает пропускание фильтра на

5-15%. При термообработке в ионизированной кислородсодержащей среде скорость окисления поверхности металли-ческой пленки увеличивается. Процесс окисления характеризуется стадиями хемосорбции и диффузии вглубь металлической пленки.

Способ осуществляют следующим об- 25 разом.

На подложку из оптического стекла (К8, ТФ и т,д.}, очищенную от загрязнений с помощью тлеющего разряда, наносят слой металла традиционным мето- З0 дом, например, термическим, электронно-лучевым и т.д. После нанесения пленки ее обрабатывают в ионизированной кислородсодержащей среде тлеющего разряда с удельной мощностью . 2,010,0 Бт/см при давлении кислородсодержащего газа 1 10 мм рт.ст. в течение 15-20 мин.

Пример. На подложку из оптического стекла К8, очищенную от за40 грязнений в тлеющем разряде постоянного тока при U = 2,4 кВ, наносят пленку титана методом электронно-лучевого испарения. Контроль пропускания ведут IIo контрольному образцу и при контрольной длине волны 510 нм, пропускание составляет 60%. Затем покрытие обрабатывают в ионизированной кислородсодержащей среде тлеющего разряда с удельной мощностью

10,0 Вт/см и давлении 1 10 мм рт.ст. в течение 15 мин.

Увеличение пропускания фильтра, связанное с образованием окисла металла на его поверхности, фиксируют спектрофотометрическим методом и составляет 12%.

Данные примеров осуществления предлагаемого способа с использованием разных материалов сведены в таблицу.

Из таблицы видно, что требуемое увеличение пропускания фильтров после термообработки (Ti 10-12%, Al 6-7%, Ni - 4,5%) получено предлагаемым способом за 15-20 мин, а не за 120 мин, как в известном.

Таким образом, предлагаемый способ по сравнению с известным позволяет уменьшить время термообработки в 68 раз.

Формула изобретения

Способ получения нейтральных фильтров, включающий обработку подложки s тлеющем разряде, нанесение пленки металла и последующую термообработку, отличающийся тем, что, с целью уменьшения времени термообработки, ее проводят в ионизированной кислородсодержащей среде тлеющего разряда с удельной мощностью

2,0-10,0 Вт/см и давлении кислородсодержащего газа 1 ° 10 — 5 мм рт.ст. в течение 15-20 мин.

До обра- После обработки ботки

1418306

1!родолжение таблицы

Пропускание, Х

Способ

До обра- После обработки ботки

40

120

10, 0

40

47

40

2,2

6,0

Ni

15

2,0

120

50

Al

50

10,0

2,2

6,0

Al

15

2,0

Редактор И. Дербак

Заказ 4125/26

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул, Проектная, 4

Известный

Предлагаемый

Известный

Предлагаемый

Исходный Давление Удельная Время материал rasa, мощность, обработ мм.рт.ст. Вт/см ки, мин

Составитель Г. Буровцева

Техред М.Моргентал Корректор M. Демчик

Тираж 425 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб,, д, 4/5