Турбомолекулярный вакуумный насос

Турбомолекулярный вакуумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение позволяет повысить экономичность насоса путем снижения теплопритоков к охладительному корпусу. На впутреннеи поверхности охлаждаемого корпуса 1 размещены статорные диски 2, а по оси корпуса установлен вал 3 с роторными дисками 4. Вну1ренний и наружный кожухи 7, 8, первый из которых снабжен входным патрубком 9, охватывают корпус с образованием полостей 5, 6. Полость 5 сообщена с полостью патрубка 9, что позволяет поддерживать в ней высокий вакуум, умепьп1ающий до минимума теплоприток излучением со стороны кожуха к корпусу, охлаждаемому хладагентом. Кроме того, увеличение теплового моста, роль которого играет кожух 7, также снижает теплоприток. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1418495 А 1 (51) 4 F 04 D 19 04

acrcom36«

13, „-, РВЛИОТЕКА

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

A/ЛОУ хлаФагенла

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

<2l) 4161811/25-06 (22) 10.12.86 (46) 23.08.88. Бюл. № 31 (71) МВТУ им. H. Э. Баумана (72) В. В. Полосов (53) 621.527.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1232850, кл. F 04 D 19/04, 1984. (54) ТУРБОМОЛ Е КУЛЯ PH bI Й ВАКУУМНЫЙ НАСОС (57) Изобретение позволяет повысить экономичность насоса путем снижения теплопритоков к охладительному корпусу. На внутренней поверхности охлаждаемого корпуса 1 размещены статорные диски 2, и по оси корпуса установлен вал 3 с роторными дисками 4. Внутренний и наружный кожухи 7, 8, первый из которых снабжен входHbIM патрубком 9, охватывают корпус с образованием полостей 5, 6. Полость 5 сообщена с полостью патрубка 9, что позволяет поддерживать в ней высокий вакуум, уменьщающий до минимума теплоприток излучением со стороны кожуха к корпусу, охлаждаемому хладагентом. Кроме того, увеличение теплового моста, роль которого играет "îæó.

7, также снижа T сплоприток. ил.

1418495

Формула изобретения

Составитель В. Кряковкин

Редактор Н. Бобкова Техред И. Верес Корректор Л. Патай

Заказ 4! 40!35 Тираж 574 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной техн14ке, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения — повышение эконом ичности путем снижения теплопритоков к охладительному корпусу.

На чертеже представлен насос, продольи 1й разрез.

Турбомолекулярный вакуумный насос сод ржит охлаждаемый корпус 1, размещенн е на его внутренней поверхности статори 1е диски 2, установленный по оси кори са 1 вал 3 с роторными дисками 4 и окватывающие корпус 1 с образованием полостей 5 и 6 внутренний 7 и наружный 8 коо жуха, первый из которых снабжен входным патрубком 9, причем полость 5 между корпусом 1 и внутренним кожухом 7 сообн1ена с полостью входного патрубка 9.

Насос работает следующим образом. ! Газ из откачиваемого объема поступает в полость входного патрубка 9, а затем в орпус 1. Посредством системы роторных и аторных дисков 4 и 2 газ переносится на орону нагнетания насоса.

Поскольку полость 5 сообщена с полостью входного патрубка 9, в процессе работы насоса в ней поддерживается высокий вакуум, уменьшающий до минимума теплоприток излучением со стороны кожуха 7 к корпусу 1, охлаждаемому хладагентом.

Кроме того, увеличение теплового моста, роль которого играет внутренний кожух 7, также снижает теплоприток, что повышает экономичность насоса.

Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий охлаждаемый корпус, размещенные на его внутренней поверхности статорные диски, установленный по оси корпуса вал с роторными дисками и охватывающие корпус с образованием полостей внутренний и наружный кожуха, первый из которых снабжен входным патрубком, отличаю20 бийся тем, что, с целью повышения экономичности путем снижения теплопритоков к корпусу, полость между ним и внутренним кожухом сообщена с полостью входного патрубка.