Способ испытания изделий на герметичность

Способ испытания изделий на герметичность

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к технике вакуумных испытаний. Цель изобретения - повышение инфор.мативности путе.м определения геометрии течи. Возбуждают излучение проникающего через течь / газа, регистрируют угловые координаты факела возбужденного ультрафиолетового излучения посредством сканирования детектора 4 ультрафиолетового излучения и по форме и наклону факела судят о геометрии выходного отверстия течи. Если течей несколько, то последовательно все они герметизируются. Затем каждую по очереди разгерметизируют и исследуют ее геометрию, а затем вновь герметизируют. Величину потока через найденные течи определяют способом накладных вакуумных ка.мер 12, используя течеискатель 13. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК дц 4 G 01 М 3 40

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H А BTOPCH0MV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4196630/25-28 (22) 18.02.87 (46) 30.08.88. Бюл. ¹ 32 (72) E. A. Борисов, В. И. Киреев, В. А. Уфаев и 3. Г. Алехин (53) 620.165.29 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1293515, кл. G 01 М 3/40, 1984. (54) СПОСОБ ИСПЪ|ТАНИЯ ИЗДЕЛИЙ

НА ГЕРМЕТИЧНОСТЬ (57) Изобретение относится к технике .вакуумных испытаний. Цель изобретения— повышение информативности путем определения геометрии течи. Возбуждают излуче„„SU„„1420423 A 1 ние проникающего через течь 7 газа, регистрируют угловые координаты факела возбужденного ультрафиолетового излучения посредством сканирования детектора 4 ультрафиолетового излучения и по форме и наклону факела судят о геометрии выходного отверстия течи. Если течей несколько, то последовательно все они герметизируются.

Затем каждую по очереди разгерметизируют и исследуют ее геометрию, а затем вновь герметизируют. Величину потока через найденные течи определяют способом накладных вакуумных камер 12, используя течеискатель 13. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.

1420423

Формула изобретения

Составитель П. Зимин

Редактор А. 3олинич Текред И. Верее Корректор В. Гирняк

3 а к аз 4320/4 5 Тираж 847 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная,4

Изобретение относится к технике вакуумных испытаний.

Цель изобретения — повышение информативности путем определения геометрии течи.

На чертеже представлена схема реализации способа испытания изделий на герметичность.

Схема содержит изделие 1, имеющее коллектор 2, штангу 3 перемещения с устройством ввода в вакуум, детектор 4 ультрафиолетового излучения, диафрагменное устройство 5, задающее переменный угол 6 поля зрения вокруг места течи 7. Направление сканирования детектора 4 ультрафиолетового излучения показано координатами 8.

Кроме того, схема включает устройство 9, возбуждающее и поддерживающее тлеющий разряд, пульт 10 управления и индикации, контрольную течь 11, накладную вакуумную камеру 12, масс-спектрометрический течеискатель 13.

Способ испытания изделий на герметичность осуществляется следующим образом.

Изделие 1, подлежащее проверке, откачивают через коллектор 2. Первоначально давление в изделии падает до 10 — 20 торр.

С пульта 10 управления и индикации включают устройство 9 возбуждения и поддержания тлеющего разряда. Светимость плазмы определяется плотностью остаточного газа, а максимум спектральной плотности лежит в области вакуумного ультрафиолета.

Сканируя детектором 4 ультрафиолетового излучения, исследуют внутреннюю поверхность изделия 1. Угол 6 поля зрения детектора выставляют диафрагменным устроиством 5 в зависимости от сектора сканирования. Определяют координаты 8 наибольшей яркости сканирования и по ним определяют положение течи 7 на внешней стенке изделия 1. Найденную течь 7 закрывают снаружи накладной вакуумной камерой 12, откачивают ее масс-спектрометрическим течеискателем 13, одновременно контролируя сигнал яркости от течи 7 на пульте

10 управления и индикации. Погашение сигнала подтверждает найденную течь и одновременно с этим вызывает необходимость коррекции напряжения разряда для вновь установившегося динамического равновесия газа. Далее производят осмотр при более низком уровне натекания.

Повторяя этот цикл многократно, ликвидируют течи определенного порядка, пока

2 не будет достигнута требуемая герметичность, Затем устройство 9 возбуждения и поддержания тлеющего разряда и детектор 4 ультрафиолетового излучения выключают, изделие 1 заполняют пробным газом и регистрируют количественные величины потоков газа масс-спектрометрическим течеискателем 13 в каждой из установленных накладных вакуумных камер 12.

Точность определения места течи 7 повышается, если произвести калибровку детектора 4 ультрафиолетового излучения по контрольной течи 11, расположенной в удобном для наблюдения месте.

После определения с помощью массспектрометра величины течей вновь откачивают изделие 1. Поочередно открывают накладные вакуумные камеры 12, поджигают тлеющий разряд, сканируя детектором 4 ультрафиолетового излучения, определяют форму факела свечения у его основания, т. е. в зоне выходного участка течи. По наклону факела к поверхности изделия 1 и известной координате течи определяют отклонение течи 7 от нормали к поверхности.

1. Способ испытания изделий на герметичность, заключающийся в том, что возбуждают излучение газа, проникающего через течь в стенке изделия в вакуум, определяют интенсивность факела возбужденного ультрафиолетового излучения и место его расположения, по которым судят соответственно о величине и месте течи, отличающийся тем, что, с целью расширения информативности путем определения геометрии течи, излучение газа возбуждают путем создания в нем тлеющего разряда, регистрируют угловые координаты факела, по которым судят об угловых координатах выходного участка течи.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью повышения точности при наличии нескольких течений, после определения величины и места течи ее герметизируют, поддерживают существование тлеющего разряда, продолжают поиск до полного устранения всех течей, разгерметизируют одну течь и после регистрации угловых координат ее факела повторно ее герметизируют, и повторяют операции разгерметизации и герметизации для всех обнаруженных течей.