Способ переработки кубовых остатков производств трихлорсилана и поликристаллического кремния
Патент 1422571
Авторы
- Аркадьев А.А.
- Аронов Д.Б.
- Кох А.А.
- Лозовацкий В.М.
- Миттельштейн Б.М.
- Назаров Ю.Н.
- Старобина Т.М.
- Чапыгин А.М.
Классы МПК
Способ переработки кубовых остатков производств трихлорсилана и поликристаллического кремния
Реферат
Способ переработки кубовых остатков производств трихлорсилана и поликристаллического кремния, включающий их концентрирование, отличающийся тем, что, с целью обеспечения полноты переработки пожаровзрывоопасных веществ, повышения безопасности процесса, а также его упрощения, кубовые остатки после концентрирования до содержания полисилан- и полисилоксанхлоридов 10 - 40 мас. % подвергают взаимодействию с водным раствором карбоната натрия при массовом соотношении кубовых остатков в пересчете на хлор и карбоната натрия, равном 1 : 1,6-3,3.