Устройство для откачки камеры
Патент 1423789
Авторы
Классы МПК
Устройство для откачки камеры
Иллюстрации
Реферат
Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет расширить функциональные возможности устройства путем обеспечения постоянной скорости откачки из вакуумной камеры. Вакуумная камера 1 соединена высоковакуумным трубопроводом с высоковакуумным насосом 11, а байпасным трубопроводом - с форвакуумным насосом 12. Между насосами установлен компенсатор 9, выполненный секционным и Уснабженный электромагнитными клапанами . В камере установлены датчики давления , в качестве которых используются электроконтактные вакууметры. Контакты блока реле соединены с контактами вакууметров и с электромагнитными клапанами. Объемы секций компенсатора м.б. рассчитаны по определенной формуле в зависимости от начального давления в камере, макс, впускного давления насоса 11, количества секций и объема камеры. Секции компенсатора 9 предварительно откачиваются форвакуумным насосом 12, затем поток газа из камеры 1 поступает в секции компенсатора. При достижении давления запуска насоса 11 закрываются клапаны 8, 2 открьшается клапан 10 и производится высоковакуумная откачка камеры 1 насосом 11. 1 з.п. ф-лы, 2 ил. /О / /у fSfif / / / i (Л K.i,. Z 7
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН
А1 (19) (11) (51) 4 F 04 В 37/06 (" l б
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АSTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ
10 т Ф 1ХФ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ИО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4116177/25-06 (22) 12.09.86 (46) 15.09.88. Бюл. 1(34 (72) В.Б. Антипов, Ю.Ф. Солодовников и В.Ф. Новиков (53) 621.521(088.8) (56) Патент ГДР К - 96304, кл. F 04 В 37/06, 1972.
I (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОТКАЧКИ КАМЕРЫ (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет расширить функциональные возможности устройства путем обеспечения постоянной скорости откачки из вакуумной камеры.
Вакуумная камера 1 соединена высоковакуумным трубопроводом с высоковакуумным насосом 11, а байпасным трубопроводом — с форвакуумным насосом
12. Между насосами установлен компенсатор 9, выполненный секционным и снабженный электромагнитными клапанами. В камере установлены датчики давления, в качестве которых используются электроконтактные вакууметры.
Контакты блока реле соединены с контактами вакууметров и с электромагнитными клапанами. Объемы секций компенсатора м.б. рассчитаны по определенной формуле в зависимости от начального давления в камере, макс. впускного давления насоса 11, количества секций и объема камеры. Секции компенсатора 9 предварительно откачиваются форвакуумным насосом 12, затем поток газа иэ камеры 1 поступает в секции компенсатора. При достижении давления запуска насоса 11 закрываются клапаны 8, 2 открывается клапан
10 и производится высоковакуумная откачка камеры 1 насосом 11. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.
142 3789
Изобретение относится к вакуумной технике, а им нно к ис«ь«таниям в вакууме.
Цель изобретения — ряс«цирение
5 функциональных возможностей устройства путем обеспечения постоянной скорости откачки из вяьуучной камеры, На фи« . 1 предс r ««леня схема;«реплагаемогс устройств
Устройство для откячьи камеры состоит из вакуумной камеры 1 соединен- 15 ной через электромаг«п«тный клапан 2 с байпасным трубопроводом 3, зле! тромагнитными клапанами 4-8 соответстве!! но с секциями компенсяторя 9, -- электромагнитным клапаном 10 — с в«,«соко- 0 вакуумным насосом 11. Форвакуумныи насос 12 связан с нысoKoRBKуумным ня— сосом 11 и коь<пе««сятором 9 через клапан 13. Электроконтакт«п«е вакууметры
14- 16, установленные в камере 1, сво- 25 ими контактами 1 i — 21 соединены с контактами 22-32 реле 33-37, которы» соединены с обмотками электромагнитных клапанов 2,4-8, 10. Выключатель 38 для включения электр>эсхемь«. - Г .г
Устройство для откачки камеры работает следу«<>«щ«ы образом, Секции компенсатаря 9 предварительно откачиваю-с>! форвякуумнь«ь< насосом 12 через кл;и«яны 13,4-8. !!осле откачки секции д давления 1 <
1<10 2 ???? ????. ??.??, ?????????????? ?????????? ????????????. ?????????? ?????????????? iro???????????????? ?? ???????????????????????????? ????????????: ?????????? ?????????????????? ??????????>чателя 38 прои< ходит включе <е ".«ектро- 40> магнитного кляг>яня 2через норма« ьво замкнутьп«контакт ЗО реле 37 и электромя< нитного кляп;<ня — чере, нормально замкHут«лй ко» Toкт 22 po<>;е 33. Потоь. газа из кямерь« 1 поступ е". -" ер 45 вую секцию комп»»с;<т<.ря 9. <)B««о»ременно срябяз ывяют реле 3 «и 36, подготавливая к ряб, т< =-лектромагни ные к.«аланы 5 1 .. ilp;.;о<- «иже «ии;;явления в камере 1. < сстнетству!L,»го заMbIKdíHK> ьо»такта 17 . лс ктроко>«- !K i ного някуумм< тj>;I 14, «р,«< ять«»я< т, <..«
33 .и конт;<ктом 22 отклю:.;. т .,;„31: н
4> я конта«.том 23 открывает кля:1,! II
5. Газ из ьh> 1 Ilос -упяp". «<. 1> I
55 рую секцию кo!<пенса l o!><> . H!»!,«оc l ижен !H,", I R I » II«1., i 1> кя! 1<. p P 1 < » т
BPTCTB>:K>i<1 111bil;! i.акт:1 <" электр око«1«<««; «» <>l о вя к y Mp;;>;i 1-, р <ле 34 обесточивается и контактом 24 закрывает клапан 5, а контактом 25 открывает клапан 6, Газ из камеры 1 поступает в третью секцию компенсатора
9. При достижении давления н камере
1, соответствующего замь«калию контакта 19 электроконтяктногo вакууметра
15, срабатывают реле 37 и контактом
26 эакрынает клапан 6, а контактом 27 открыняе-.. <лапан 7., Гяз из ;.амеры 1 постуляс в четвертую екцию компенсяторя 9. При достижении;«явления, соответствующего размыканию контакта
20 электроконтактногс вякууметра 15, обесточивается j>< Bе 36 и контактом
28 зякрыняс=т клапан 7, я контактом
29 открывяст клапан 8. Газ из камеры
1 ««оступяет в после«нюю секцию компенсятпра 9. HBI! дос гижении давления равномерности скоро< ти откачки камеры, я именнп
Р» — P .М ----- .Ч
Р p I<
<«ъ и „Y — (-------)1) к
> порядковый ц<.мер секцин; — 1,2...1;; количе. т секций, выбранное из условия равенства конечного дянлени> в кямег c: 1 впускному давле:«ию высоковакуумного няс >са 11, и численно равное значению времени откачки камеры в секундах; объ-.-.м I -и с е:ции ь омп енсатоГДЕ 1 и
1<с ра; на я.«ьное давление в камере; конечное давление в камере, равное мяксиь<яльному впускному давлению высоконакуумного пасоса; обьем камеры.
PB
Ф о р м у л а и 3 о б р е т е н и я
1. Устройство д <я откачки камеры> соде«>ж щее ваку .мную камеру, соеди««< I.. ую лыс< кон>яку> "11!ым трубопровоза, <.кя B«icoKoBar уумцого насоса, соответствующего замыканию контакта 21 электрокон гяктиого вакууме«ра 16, сраб .z«!Bee! реле 37, ко««тактом 31 закрывая клапан 8, контак ом 30 закрывая к >анан 2 и контактом 32 открывая клапан 10, Произ водится вь<с оковакуумная откачка камеры 1 насосом 11.
Объем каждой сек«ши комп нсатора ныб«<.яется из yczoBI < .>бе печения
1423789
Ь к >
P — P п (Р— (— — — - -) iJ к и
10 где Р„
Pq начальное давление в камере; максимальное впускное давление высоковакуумного насоса; объем 2-й секции; порядковый номер секЦИи;
1,2...,n; количество секций; объем камеры.
15 Чс
1 и
v„
Фиг 2
Составитель С. Пузиков
Техред А. Кравчук Корректор С ° Шекмар
Редактор М. Петрова
Заказ 5001
Тираж 574
Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная ° 4 дом с высоковакуумным насосом, а байпасным трубопроводом — с форвакуумным насосом, причем оба трубопровода содержат клапаны, компенсатор, установленный между насосами, и датчики давления, расположенные в камере, отличающееся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей устройства путем обеспечения постоянной скорости откачки из вакуумной камеры, компенсатор выполнен секционным и снабжен электромагнитными клапанами, а в качестве датчиков давления используются электроконтактные вакууметры, кроме того, устройство для откачки дополнительно снабжено блоком реле, контакты которого соединены с контактами вакуумметров и с электромагнитными клапанами.
2 ° Устройство по п. 1, о т л и
5 ч а ю щ е е с я тем, что объемы секций компенсатора рассчитываются по формул е