Устройство для вытягивания кристаллов из расплава

Устройство для вытягивания кристаллов из расплава

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к технике получения искусственных кристаллов и обеспечивает повьппение срока службы тигля. Устройство содержит кварцевый тигель, внутри стенок и дна которого размещена сетка из углеродного волокна, уплотненного пироуглеродом. Тигель размещен на подставке. Изобретение обеспечивает увеличение срока службы тигля на 30% и повышение скорости вытягивания бездислокационных монокристаллов кремния на 10%. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

А1

ИЯ (И) (51) 5 С 30 В 15/10

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТКОЙ (46) 1 5. 09. 90. Бюл. У 34 (21) 4102561/23-26 (22) 01.08.86 (71) Государственный научно-исследо- вательский и проектный институт редкометаллической промьпппенности (72) Э.П.Бочкарев, А.С.Булаев, И.В.Зыкова, Л.М.Раскутина, Н.Г.Леонтьев и Э.В.Гранковский (53) 621.315,592 (088.8) (56) Патент Японии 54-18357, кл. В 01 J 17/18, 1977 °

Авторское свидетельство СССР

1l> 1248333, кл. С 03 В 15/10, 1984. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫТЯГИВАНИЯ

КРИСТАЛЛОВ ИЗ РАСПЛАВА (57) Изобретение относится к технике получения искусственных кристаллов и обеспечивает повышение срока службы тигля. Устройство содержит кварцевый тигель, внутри стенок и дна которого размещена сетка иэ углеродного волокна, уплотненного пироуглеродом. Тигель размещен на подставке.

Изобретение обеспечивает увеличение срока службы тигля на 307 и повышение скорости вытягивания беэдислокационных монокристаллов кремния на

10Х. 2 ил.

1424379

Изобретение относится к устройстваи для получения монокристаллов, преимущественно полупроводников, и моает быть использовано при выращи5 ванин монокрнсталлов из расплава иетодом Чохральского.

Целью изобретения является увеличение срока службы тигля.

На фиг.1 изображено предложенное устройство в продольном разрезе; на фиг.2 — тигель.

Устройство содержит кварцевый тигель с размещенной внутри него сеткой 2 из углеродного волокнд, .уплотненного пироуглеродом, диаметром нити 0,1-0,4 толщины стенки тигля 1.

Тигель 1 установлен на подставке 3, закрепленной на штоке 4. Вокруг тигля

1 расположен нагреватель 5 и тепловые экраны 6. В верхней части устройства размещен шток 7 с затравкодериателем. На фиг,1 показаны расплав . 8 и вытягиваемый кристалл 9.

Тигель 1 мотает быть изготовлен по 25 технологии получения кварцевых тиглей напылением на графитовую болванкушаблон слоя кварца (толщиной 6 им для тигля диаметром 270 им). После напыления слоя кварца толщиной 2 ии на неи размещается арматура в виде сетки as углеродного волокна, уплот-, ненного пироуглеродом с диаметром нити толщиной 1 им. Затеи сверху напы- ляется слой кварца, толщиной 3 им.

Устройство работает следующуам образом, После загрузки тигля 1 кремнием, гериетизации и создания вакуума в камере печи электрический ток подают на нагреватель 5, разогревая его до 40 рабочей температуры (1600-1750 С).

Загрузка (16 кг и более) состоит обычно иэ кусков поликристаллического кремния весом до 2 кг. Плавление загрузки начинается через 30 иин после выхода нагревателя на 1700 С, причем вначале нижней ее части. После расплавления загрузки производФт эатравливание и вытягивание кристалла из расплава.

В данном устройстве тигель 1 в процессе работы не меняет своей формы, так как сетка 2, размещенная внутри стенки и дна тигля 1, повышает его механическую прочность.

Одновременно эа счет теплопроводнос" ти сетки 2 из углеродного волокна существенно уиеньшается асимметрия теплового поля.

Снюкение асииметрии теплового поля позволяет повысить скорость выращивания беэдислокационных монокристаллов на 10Х sa счет выравнивания температуры на стенке тигля . Срок службы тигля в периодическом процессе повышается с 2 до 3, а в полунепрерывном - с 40 до 60 ч по сравнению

r прототипом. формула изобретения

Устройство для вытягивания крис таллов из расплава на затравку, включающее кварцевый тигель для расплава, подставку и сетку иэ углеродного волокна, уплотненного пироуглеродом, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью увеличения срока слуибы тигля, сетка размещена внутри стенок и дна е тигля в виде арматуры.

1424379

АКОГ/

Тираж 346 Подписное

ВПИИПИ Государственного коиитета СССР по делаи иэобретеиий и открытий

ll3035, Москна, Ж-35, Раушская иаб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r, ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор Н.Коган, Заказ 3324 (, Составитель В.Захаров-Черенков

Техред Л.Олийнык Корректор И.деичик