Способ изготовления n-p+- и p-p+-структур кремниевых непланарных приборов
Патент 1424631
Авторы
Классы МПК
Способ изготовления n-p+- и p-p+-структур кремниевых непланарных приборов
Реферат
Способ изготовления n-p+- и p-p+ - структур кремниевых непланарных приборов, включающий заполнение промежутка между кремниевой монокристаллической пластиной-подложкой и пластиной-источником расплавом алюминия и последующее проведение зонной перекристаллизации в поле с градиентом температур, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества структур за счет уменьшения удельного сопротивления p+-слоя, в качестве пластины-источника используют пластину поликристаллического кремния, легированную бромом до уровня 1020 - 3 1020 см-3.