Интерферометр для измерения линейных перемещений объекта

Интерферометр для измерения линейных перемещений объекта

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерениям перемещений при вибрации. Целью изобретения является повышение точности измерения. Излучение от источника 1 светоделителем 2 разделяется на два потока, один из которьпс i- u направляют на плоский поляризатор 5, затем - на вторую четвертьволновую . пластину 6, после выхода из которой его направляют на второе плоское зеркало 7, скрепляемое с объектом, которое и возвращает излучение на . вторую четвертьволновую пластину 6. На выходе из плоского поляризатора 5 излучение направляют на первую четвертьволновую пластину 4, последний проход излучения направляют на первое плоское зеркало 3, минуя первую четвертьволновую пластину 4, он, не отклоняясь, проходит через плоский поляризатор и его направляют по тому же пути, но в обратном направлении . На светоделителе 2 происходит совмещение двух световых потоков, а величина перемещения может быть определена методом счета интерференционных полос. 1 ил. О) tu tc bi u со СП

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (51) 4 G 01 В 9/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4139986/24-28 (22) 28.10.86 (46}, 23.09,88. Бюл. В 35 (71) Всесоюзный научно-исследовательский институт метрологической службы (72) В.Я.Бараш, Г.С.Пресняков, А.Л.Резников и Г1.И.Фокин (53) 531.715.1 (088.8) (56) Крылов К.И. и др. Применение лазеров в машиностроении и приборостроении. Л.: Машиностроение, 1978, с.241-242. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ

ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТА (57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности, к измерениям перемещений при вибрации.

Целью изобретения является повышение точности измерения. Излучение от источника 1 светоделителем 2 разделяется на два потока, один из которых

ÄÄSUÄÄ 425435 А1 направляют на плоский поляризатор 5, затем — на вторую четвертьволновую пластину б, после выхода из которой его направляют на второе плоское зеркало 7, скрепляемое с объектом, которое и возвращает излучение на вторую четвертьволновую пластину б.

На выходе иэ плоского поляризатора

5 излучение направляют на первую четвертьволновую пластину 4, последний проход излучения направляют на первое плоское зеркало 3, минуя первую четвертьволновую пластину 4, он, не отклоняясь, проходит через плоский поляризатор и его направляют по тому же пути, но в обратном направлении. На светоделителе 2 происходит совмещение двух световых потоков, а величина перемещения может быть определена методом счета интерферен- С ционных полос 1 ил.

1425435

Формула изобретения

Составитель H..Захаренко

Корректор М.Демчик

Техред М.Дидык

Редактор Л. Зайцева

Заказ 4756/35 Тираж 680 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород„ ул. Проектная, 4

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерениям перемещений при вибрации.

Цель изобретения — повьппение точности измерения.

На чертеже представлена схема интерферометра.

Интерферометр содержит источник 1 излучения, светоделитель 2, отража тельный блок, выполненньп состоящим, иэ последовательно установленных и

;ориентированных параллельно друг другу первого плоского зеркала 3, 1 первой четвертьволновой пластины 4, :плоского поляризатора 5, второй четвертьволновои пластины 6, второго плоского зеркала .7, которое установ лено с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном излуче- 20 нию от источника 1 излучения, вторая четвертьволновая пластина 6 и первое плоское зеркало 3 смещены относительно плоского поляризатора 5, а вторая четвертьволновая пластина 6 и второе 25 плоское зеркало 7 смещены друг относительно друга, фотоприемник 8, установленный в одном из потоков от светоделителя 2.

Интерферометр работает следующим образом.

Излучение от источника 1 излуче: ния диагональной гранью светоделите1 ля 2 разделяется на два вэаимно-пер35 пендикулярных потока, Один поток

: направляют на вторую четвертьволно: вую пластину 6, которая сообщает ему циркулярную поляризацию. После выхода из второй четвертьволновой 40 пластины 6 излучение направляют на второе плоское зеркало 7, скрепляемое с объектом (на чертеже не показан), которое и возвращает излучение на вторую четвертьволновую пластину 6, в которой циркулярно поляризованному излучению сообщают линейную ортогональную поляризацию, в связи с чем плоский поляризатор 5 отклоняет иэлуо чение на угол 90 — о(, где аС вЂ” угол преломления луча в поляризаторе. На выходе из плоского поляризатора 5 излучение направляют на первую четвертьволновую пластину 4, которая сообщает ему линейную ортогональную поляризацию. Последний проход излучения направляют на первое плоское зеркало, минуя первую четвертьволновую пластину 4, в связи с чем он, не отклоняясь9 проходит через плоский поляризатор и его направляют по тому же пути, но в обратном направлении.

На светоделителе 2 происходит пространственное совмещение потока, отраженного от .отражающей грани светоделителя 2, и потока, отражаемого от отражательного блока. На фотоприем-. ник 8 поступает интерферирующее излучение, а измерение величины перемещения может осуществляться методом счета интерференционных полос.

Интерферометр для измерения линейных перемещений объекта содержащий

/ источник иэлучения,светоделитель,делящий излучение от источника на двапотока, отражательный блок и фотоприемник, установленный в одном из йотоков от светоделителя, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения точности измерения, отражательный блок выполнен из последовательно установленных и ориентированных параллельно друг другу первого плоского зеркала, первой четвертьволновой пластины, плоского поляризатора

9 второй четвартьволновой пластины и второго плоского зеркала, которое установлено с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном излучению от источника, вторая четвертьволновая пластина и первое плоское зеркало смещены относительно плоского поляризатора, а вторая четвертьволновая пластина и второе плоское зеркало смещены друг относительно друга.