Масс-спектрометрический течеискатель

Масс-спектрометрический течеискатель

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к технике вакуумных испытаний с помощью массспектрометрических течеискателей. Целью изобретения является упрощение конструкции течеискателя при одновременном повьпиении его чз ствительности путем снижения уровня флуктуации. Течеискатель состоит из масс-спактрометрической камеры 1 , высоковакуумного насоса 2, форвакуумного насоса 3, с установленным между насосами 2 и 3 формирователем 4 молекулярного режима течения газов (ФМРТ), демпфирующих емкостей 5, ФМРТ 6 на входе в течеискатель, а также соединительных магистралей и запорной арматуры. ШРТ 4 и 6 выполнены в виде блока капиллярных трубок или трубки с поперечным сечением в форме спирали с суммарной проводимостью не менее проводимости замещаемых участков вакуумных магистралей. 2 з.п. ф-ль, 1 ил. с S

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБ ЛИН

А1 (19) (1И (51) с1 G 01 М 3/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BT0PCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4148794/25-28 (22) 19.11.86 (46) 23.09.88. Бюл. 1(35 (72) В. А. Ладиков, Б. П. Ефимчук, А. И. Греков, В. А. Андреев, Л. В. Бердов, Н. Н. Межуев и И. И. Гребенюк (53) 620.165.29(088.8) (56) Плиско А. И., Плисковский В. Я., Пенчко Е. А. Конструирование и расчет вакуумных систем. — М.: Энергия, 1970, с. 14.

Нечаев Н. М., Рафальсон А, Э., Цимберов Н. Я. Повышение чувствительности масс-спектрометрического течеискателя. — ПТЭ, 1964, У 5. (54) МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКИЙ ТЕЧЕИС-

КАТЕЛЬ (57) Изобретение относится к технике вакуумных испытаний с помощью массспектрометрических течеискателей.

Целью изобретения является упрощение конструкции течеискателя при одновре" менном повышении его чувствительности путем снижения уровня флуктуации. Течеискатель состоит из масс-спектрометрической камеры I, высоковакуумного насоса 2, форвакуумного насоса

3, с установленным между насосами 2 и 3 формирователем 4 молекулярного режима течения газов (ФМРТ), демпфирующих емкостей 5, (bMPT 6 на входе в течеискатель, а также соединительных магистралей и запорной арматуры.

ФМРТ 4 и 6 выполнены в виде блока капиллярных трубок или трубки с поф перечным сечением в форме спирали с суммарной проводимостью не менее проЩФ водимости замещаемых участков вакуумных магистралей, 2 з.п. ф-лы, 1 ил.

1 1425502 2

Ф о р м у л а и э о б р е т е н и я

Составитель Е. Масленников

Редактор Г. Волхова ТехредЛ.Сердюкова Корректор В. Романенко

Заказ 4759/38 Тираж 847 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, .4

Изобретение относится к технике вакуумных испытаний и может быть использовано в отраслях промышленности, использующих для контроля герметич5 ности масс-спектрометрические течеискатели.

Целью изобретения является упрощение конструкции течеискателя при, одновременном повышении его чувствительности путем снижения уровня флуктуаций.

На чертеже представлена вакуумная

1 схема масс-спектрометрического тече, искателя. 15

Масс-спектрометрический течеиска1 тель состоит иэ масс-спектрометричес кой камеры 1, высоковакуумного насоса 2 и форвакуумного насоса 3 с установленным между насосами 2 и 3 фор- 20 мирователем молекулярного режима течения (ФМРТ) 4, демпфирующих емкостей 5, на входе и выходе ФМРТ 4, ФМРТ 6 на входе в течеискатель эа дроссельным вентилем 7, а также сое" 25 динительных магистралей и запорной арматуры. ФМРТ 4 и 6 могут быть выполнены в виде блока капиллярных трубок ! или трубки с поперечным сечением в форме спирали с суммарной проводимо- 30 стью не менее проводимости замещаемых участков вакуумных магистралей.

Течеискатель работает следующим образом.

Поток, поступающий на вход в тече- 35 искатель, демпфируется на ФМРТ 6 и с помощью высоковакуумного насоса 2 создается рабочее давление в массспектрометрической камере 1, насос 3 создает необходимый вакуум на выходе насоса 2. ФМРТ 4 исключает высокочастотную составляющую флуктуаций, а демпфирующие емкости 5 — низкочастотную составляющую флуктуаций давления, генерируемых насосом 3.

Экспериментальная проверка течеискателя ПТИ-10, оснащенного формирователями молекулярного режима течения газов показала, что чувствительность течеискателя повышается не менее чем в 10 раз во всем диапазоне допустимых на ПТИ-1О газовых нагрузок.

1. Масс-спектрометрический течеискатель, содержащий масс-спектрометрическую камеру, соединенные с ней через запорную арматуру средства высоковакуумной и форвакуумной откачки и входной трубопровод, соединенный через дроссельный вентиль с входом высоковакуумного средства откачки, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности в области больших газовых нагрузок, он снабжен двумя формирователями молекулярного режима течения газа, один из которых установлен на входном трубопроводе за дроссельным вентилем, а второй — между средствами высоковакуумной и форвакуумной откачки, и двумя демпфирующими емкостями, установленными на входе и выходе второго формирователя °

2. Течеискатель по п. 1, о т л ич. а ю шийся тем, что формирователь молекулярного режима течения газа выполнен в виде блока капиллярных трубок.

3. Течеискатель по и. 1, о т л ич а ю шийся тем, что формирователь молекулярного режима течения газа выполнен в виде трубки с поперечным сечением в форме спирали.