Способ получения трихлорсилана
Патент 1431254
Авторы
Классы МПК
Способ получения трихлорсилана
Реферат
Способ получения трихлорсилана, включающий гидрохлорирование измельченного кремния в непрерывном режиме в квазигомогенной среде хлористый водород - кремний при повышенной температуре, последующую конденсацию газообразных продуктов реакции, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода трихлорсилана и удельной производительности процесса, гидрохлорирование осуществляют путем инжектирования и транспортирования кремния в реакционной зоне потоком хлористого водорода, затем кремний отделяют от газообразных продуктов реакции и повторно инжектируют, при этом температуру инжектируемого кремния на входе в реакционную зону поддерживают равной 240 - 320oC.