Способ получения трихлорсилана
Патент 1432950
Авторы
Классы МПК
Способ получения трихлорсилана
Реферат
Способ получения трихлорсилана, включающий гидрохлорирование кремнийсодержащего сырья, конденсацию газообразных продуктов реакции, выделение трихлорсилана ректификацией и нейтрализацию несконденсированных газов, отличающийся тем, что, с целью повышения степени извлечения трихлорсилана из газов при одновременном снижении пожаро- и взрывоопасности процесса, перед стадией нейтрализации проводят абсорбцию трихлорсилана путем орошения тетрахлоридом кремния при температуре от -20 до -60oC и при плотности орошения 2 - 12 кг SiCl4/м3 газов.