Способ получения трихлорсилана
Патент 1432951
Авторы
Классы МПК
Способ получения трихлорсилана
Реферат
Способ получения трихлорсилана, включающий взаимодействие водорода и хлора, гидрохлорирование кремнийсодержащего сырья полученным хлористым водородом, конденсацию трихлорсилана и его ректификацию, отличающийся тем, что, с целью уменьшения содержания примесей бора в трихлорсилане и повышения экономичности процесса, конденсацию проводят до остаточного содержания трихлорсилана 0,01 - 7 мас. % в парогазовой смеси, которую затем смешивают с исходным водородом и подают на стадию взаимодействия с хлором.