Способ определения распределения потенциала по поверхности образца

Способ определения распределения потенциала по поверхности образца

Реферат

Способ определения распределения потенциала по поверхности образца, состоящий в том, что образец облучают электронным пучком, регистрируют спектр вторичного излучения и определяют распределение потенциала, отличающийся тем, что с целью обеспечения возможности измерения распределения потенциала в областях с напряженностью электрического поля свыше 10⁴ В/см, облучают заземленный образец пучком электронов с энергией, превышающей энергию возбуждения характеристической линии рентгеновского излучения материала образца, и регистрируют рентгеновское излучение, затем увеличивают энергию пучка, снимают калибровочную зависимость изменения интенсивности рентгеновского излучения от энергии пучка, после приложения к образцу рабочего напряжения направляют на него электронный пучок заданной энергии, перемещают его по поверхности образца и в каждой точке измеряют интенсивность рентгеновского излучения, а разности потенциалов между точками на поверхности находят из калибровочной зависимости по измеренным интенсивностям рентгеновского излучения в этих точках.